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NPM-D3 EJM6DC-MB-05M-02 5-5 -2 ENABLING 1 ENABLING 2 3 OFF SERVO 5 4 7 6 8 ( 基板支撑块上升 ) 确认提示 ( 前侧 / 后侧的 X 轴移动到退 避位置 ) 卸下交换台车 ( → P.3-2) 前侧 用棉纱布盖在 多功能识别照 相机上 卸下基板支撑块 ●请注意不要在多功能识别照 相机 (LED 照明 ) 上掉落物体 或者撞击。 ●当在基板支撑块上存在支撑 销时,…

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5-5-1
维修保养篇
5-5
基板支撑块 型号/支撑块数 支撑块配置图(背面)
A
N610150726AC
(支撑块数:1个)
B
N610153271AB
(支撑块数:2个)
B
A A
B
基板支撑块 (整体更换用)
(选购件) 的清扫 1
在这里对基板支撑块(整体更换用)(选购件)的清扫进行说明。
使用工具: 棉纱布等 双轨传送带所需时间:10 分钟
●基板支撑块和基板座上如果有灰尘,是造成基板支撑块安装不良、基板破损的原因。
注意
随单轨模式和双轨模式的不同,后侧的支撑板的配置也有异。
(参照下图)
■单轨模式的配置 ■双轨模式的配置
前侧 前侧
如果错误地安装了A、B的基板支撑块,则无法变更到单轨模式的配置。

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5-5-2
ENABLING
1
ENABLING
2
3
OFF
SERVO
5
4
7
6
8
(基板支撑块上升)
确认提示
(前侧/后侧的X轴移动到退
避位置)
卸下交换台车
(→P.3-2)
前侧
用棉纱布盖在
多功能识别照
相机上
卸下基板支撑块
●请注意不要在多功能识别照
相机(LED照明)上掉落物体
或者撞击。
●当在基板支撑块上存在支撑
销时,请小心不要掉落。
基板支撑块
卸下料架工作台盖
(→P.3-3)
顺序
9
每
1
4
0
小
时
保
养
定
期
检
查

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5-5-3
16
14
ENABLING
SERVO
ON
清扫基板座和基板
支撑块
●基板支撑块(整体更换用)
的上面,请用蘸了酒精的
棉纱布擦拭。
●请勿用锋利勿损伤基板支
撑块(整体更换用)上面的
涂料。
9
平稳(无倾斜)地安装基板支撑块
(否则会与轨道产生干涉)
基板支撑块
10
取下棉纱布
12 11
13
安装料架工作台盖
(→P.3-3)
15
安装交换台车
(→P.3-2)
前侧
维修保养篇
5-5
基板支撑块 (整体更换用)
(选购件) 的清扫 2