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NPM-D3 EJM6DC-MB-12M-02 12-15 -1 ●以下的顺序和 STEP 1 的 面补正 XY 相同。 ( → P.12-3) + + ( 把传送带的宽度调整到面补正治具的宽 度 ) 确认设备内没有基板 ●如果显示「错误」， 请取出设备内的基板，重新操作。 确认提示 + ( 把检查头移动到退避位置 ) 确认提示 + ( 按钮开始计测 ) 3 2 2 3 4 4 5 5 1 进行 STEP1 的面补正 XY 的操作 ( …
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选择工作台
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(检查头开始动作，计测照相机的偏移量)
确认是否正常结束
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●以下的顺序和STEP 1的面补正XY相同。
(→P.12-3)
+
+
(把传送带的宽度调整到面补正治具的宽
度)
确认设备内没有基板
●如果显示「错误」，
请取出设备内的基板，重新操作。
确认提示
+
(把检查头移动到退避位置)
确认提示
+
(按钮开始计测)
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1
进行STEP1的面补正XY的操作
(→P.12-3)
此操作是检查头用的校准程序。
面补正是通过手工操作来完成，请按照面补正治具的幅度来调整前工序和后工序的搬送传送带的宽度。
●校准之前，请卸下所有的支撑销。
●本操作需要与STEP 1的面补正XY一起实施。
检查面补正
(2D检查头)
维修保养篇
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