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NPM-D3 EJM6DC-MB-11M-02 11 - 1 -4 NPM-D3 【短规格】 How to route the transfer belt ・ Loosen the tension pulley ( ● ) and replace the belt. ・ 请松缓 ( ● ) 的张力轮后，进行皮带的 更换的作业。 ・ ( ● ) のテンションプーリーを緩めて、ベルト交換作業を行っ てください。 MOVABL RAIL 可动…
NPM-D3 EJM6DC-MB-11M-02
对在前侧操作时的基板传送带的传送皮带的更换方法进行说明。
使用工具:六角扳手(2 mm) 所需时间:30~60分钟
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●在每个轨道的规格下的传送皮带的配置，记载在下一页上。在进行皮带的更换作业时，请复制或剪
切必要的页面灵活使用。
■关于传送皮带的配置
安装交换台车
(→P.3-2)
解锁
安装料架工作台盖
(→P.3-3)
基板传送带的
传送皮带的更换 2
维修保养篇
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NPM-D3
【短规格】
How to route the transfer belt
・ Loosen the tension pulley (●) and replace the belt.
・请松缓(●)的张力轮后，进行皮带的更换的作业。
・ (●)のテンションプーリーを緩めて、ベルト交換作業を行ってください。
MOVABL RAIL
可动轨
(可動レール)
FIXED RAIL
固定轨
(固定レール)
搬送ベルトの引き回し方法
搬送皮带的配置方法
LANE 1
LANE 2
■Short specification 短皮带规格 ショート仕様
LANE 1 ( FIXED RAIL )
轨道1(固定轨)
レーン1(固定レール)
LANE 1 ( MOVABLE RAIL )
轨道1(可动轨)
レーン1(可動レール)
LANE 2 ( FIXED RAIL )
轨道2(固定轨)
レーン2(固定レール)
LANE 2 ( MOVABLE RAIL )
轨道2(可动轨)
レーン2(可動レール)
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【长皮带规格】
How to route the transfer belt
搬送ベルトの引き回し方法
搬送皮带的配置方法
・ Loosen the tension pulley (●) and replace the belt.
・请松缓(●)的张力轮后，进行皮带的更换的作业。
・ (●)のテンションプーリーを緩めて、ベルト交換作業を行ってください。
■Long specification 长皮带规格 ロング仕様
LANE 1 ( FIXED RAIL )
轨道1(固定轨)
レーン1(固定レール)
LANE 1 ( MOVABLE RAIL )
轨道2(可动轨)
レーン1(可動レール)
LANE 2 ( FIXED RAIL )
轨道2(固定轨)
レーン2(固定レール)
LANE 2 ( MOVABLE RAIL )
轨道2(可动轨)
レーン2(可動レール)
LANE 1
LANE 2
MOVABL RAIL
可动轨
(可動レール)
FIXED RAIL
固定轨
(固定レール)