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NPM-D3 EJM6DC-MB-11M-02 顺序 11 - 1 -2 把 X 轴往内推 4 5 6 松开板的螺栓挪动板 ●请不要拆下托板。 卸下料架工作台盖 ( → P.3-3) 固定板 调整皮带张力 ( → P.6-5) ●螺栓 托板 1: 4 处 托板 2: 2 处 托板 1 7 托板 2 ■长规格时 ■短规格时 ●只限托板 1 。 ●螺栓 :4 处 10 11 ●螺栓 托板 1: 4 处 托板 2: 2 处 托板 1 托板 2…
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对在前侧操作时的基板传送带的传送皮带的更换方法进行说明。
使用工具:六角扳手(2 mm) 所需时间:30~60分钟
11-1-1
1
传送带宽度需要150
mm(为了更有利于
操作)
(→『操作篇』 P.2-5-4)
2
前侧
卸下交换台车
(→P.3-2)
4
3
OFF
主电源开关置于
OFF，上锁
换上新皮带
9
号码
皮带长度(mm)
①、③
990
②
1566
例)轨道1: 固定侧 (短规格)
①
●皮带长度的构成，各个轨道、各个规格都为共通。
●请参照各轨道的皮带安装图(→P.6-6)，将皮带挂到各卷盘上。
●有关皮带的正面、反面
正面: 无印文字
反面裏面: 有印文字
●安装皮带时，使皮带正面为基板传送面。
②③
8
卸下皮带
●往外拔，将其卸下。
●废弃时，使用钳子等切断
后卸下。
基板传送带的
传送皮带的更换 1
维修保养篇
11-1
NPM-D3 EJM6DC-MB-11M-02
顺序
11-1-2
把X轴往内推
4
5
6
松开板的螺栓挪动板
●请不要拆下托板。
卸下料架工作台盖
(→P.3-3)
固定板
调整皮带张力
(→ P.6-5)
●螺栓 托板1: 4处
托板2: 2处
托板1
7
托板2
■长规格时 ■短规格时
●只限托板1。
●螺栓:4处
10
11
●螺栓 托板1: 4处
托板2: 2处
托板1托板2
■长规格时
■短规格时
●只限托板1。
●螺栓:4处
12
NPM-D3 EJM6DC-MB-11M-02
对在前侧操作时的基板传送带的传送皮带的更换方法进行说明。
使用工具:六角扳手(2 mm) 所需时间:30~60分钟
11-1-3
12
13
ON
14
15
●在每个轨道的规格下的传送皮带的配置，记载在下一页上。在进行皮带的更换作业时，请复制或剪
切必要的页面灵活使用。
■关于传送皮带的配置
安装交换台车
(→P.3-2)
解锁
安装料架工作台盖
(→P.3-3)
基板传送带的
传送皮带的更换 2
维修保养篇
11-1