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NPM-D3 EJM6DC-MB-13M-02 13-2 使用叉式升降机、平板推车时 设备搬送时,请充分注意。交换台车 、托盘料架连接在主体设备时, 请在搬送前拆卸下来。 拧转调整螺栓,直到设备下方高出叉 子。 把叉子从右侧插入设备的下面。 ● 2 个的叉子的中心按照标签上所示▼调整 。 把叉子升起,把设备抬高。 搬移到适当的设置场所。 使用工具:扳手 65 mm (2 个 ) 平板推车或者叉式升降机 螺母 叉子的插入位置 叉子 ■叉子…

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■初级电源
13-1
不会结露的环境
●温度:10~35
●湿度:25~75 %RH
可以进行维修保养
作业的充分空间
按照配置图,在地面
上画好基准线
■空气源
●使用被空气吹风机清洁过的空气。
●气压:0.5 0.8 MPa
空气供给后,用调节器把气压调节在
0.5 0.55 MPa
●空气供给量:200 L/min(A.N.R.)
●连接管子的接入口的尺寸:3/8
平坦的
混凝土地面
●设置场所的耐负荷:
4903 N/m
2
以上
●必须从工厂所管理的电源设备给予提供。
(公共低电压供电系统:请勿直接连接到商用电源)
通常使用
电源
3AC 200/220 ±10 V
380/400/420/480 ±20 V
频率 50 / 60 Hz ±5 %
额定容量
2.7 kVA
确认设置场所
确认初级电源、空气源的规格
●“外形尺寸”( 操作篇』P.9-1-3)、“高度”( 『操作篇』P.9-1-1)
水平场所
●基板搬送高度:900920mm
(单体、生产线连接)
设置前
维修保养篇
13-1
NPM-D3 EJM6DC-MB-13M-02
13-2
使用叉式升降机、平板推车时
设备搬送时,请充分注意。交换台车、托盘料架连接在主体设备时,请在搬送前拆卸下来。
拧转调整螺栓,直到设备下方高出叉子。
把叉子从右侧插入设备的下面。
2 个的叉子的中心按照标签上所示▼调整
把叉子升起,把设备抬高。
搬移到适当的设置场所。
使用工具:扳手65 mm (2 )
平板推车或者叉式升降机
螺母
叉子的插入位置
叉子
■叉子的插入位置
●叉子从侧面插入。
使用起重机时
需用特殊的吊起工具。
特殊的吊起治具
●使用左右两条钢丝绳吊起时,请使用破断负荷为30 kN的钢
丝绳。
●有眼螺栓,请务必确实地拧紧至螺栓根部。
●搬运后保管有眼螺栓。
注意
钢丝绳
有眼螺栓
1
2
3
4
调整螺栓
1188 mm
搬送
维修保养篇
13-2
MASS:1 680 kg
CENTER
右侧
前侧
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13-3-1
使用工具:钢制卷尺、六角扳手(3 mm)、曲尺、水平测量器、扳手 2(65 mm)
前侧
注意
设置
交换台车 (选购件)
按照地面上所画的基准线暂时放置,然后调整设置位置。
●为了前后的设备之间能够顺利进行基板传送,调整方向和高度。
●和邻接的设备之间的间隔要保持在510 mm以下之间。
●设备的下面如果要放置导管,需要与设备之间空开40 mm以上的距离
●各图的尺寸为最小空间。(单位: mm)
●设置本机器请按照专门人员的指示进行操作。
●有关再设置情况请向本公司咨询。
■设置图
●前侧:交换台车 (选购件)
●后侧:托盘料架 (选购件)
*1)
交换台车时
托盘料架 (选购件)
1
设置 1
维修保养篇
13-3
4269
837 864 686
857 678
*1)
2225
2044
1025
2205
*1)
4249
*1)
基板搬送基准
基板搬送基准