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NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-02 基板传送带的润滑脂添加 2 6-1 -3 维修保养篇 6-1 ENABLING ●事先确认基板托板上不存在支撑 销。 ●使搬送传送带的宽度调整轴连续 来回往返 5 次以上 。 确认提示 ■轨道选择 W1/W2 安装交换台车 ( → P.3-2) ENABLING 安装料架工作台盖 ( → P.3-3) 15 STOP 14 13 11 12 8 SERVO ON 10 9

NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-02
向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨、滚珠花键上供给润滑脂
6-1-2
每
5
6
0
小
时
保
养
7
顺序
8
定
期
检
查
轨道1右侧
轨道2右侧
轨道1左侧
轨道2左侧
线性导轨
*2)
滚珠花键
*3)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
滚珠花键
*3)
*1)
滚珠丝杠的情形
●从润滑脂注入口(可动侧轨道) ,使用润滑脂枪添加。
各压出1次(约0.9 cm
3
)
●使用润滑脂: LCG100
*2)
线型导轨的情形
●在线型导轨的附近直接添加润滑脂。
●使用润滑脂: LCG100
*3)
滚珠花键的情形
●在滚珠花键的中压部分直接添加润滑脂。
●使用润滑脂: LCG100

NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-02
基板传送带的润滑脂添加 2
6-1-3
维修保养篇
6-1
ENABLING
●事先确认基板托板上不存在支撑
销。
●使搬送传送带的宽度调整轴连续
来回往返5次以上。
确认提示
■轨道选择 W1/W2
安装交换台车
(→P.3-2)
ENABLING
安装料架工作台盖
(→P.3-3)
15
STOP
14
13
11
12
8
SERVO
ON
10
9

NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-02
6-1-4
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查