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第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自动校准 11 - 10 11 -2-2- 1 设置方法 吸嘴分配、 准备结束后， 一边按 [ 确认 ] 按钮， 一边按照 [ 操作 ] 显示的指 示进行操作， 即可自动 获得 值。 1 ) 吸嘴分配 在 Head 偏移测量 时使用 507 号吸嘴或 50 8 C 号吸嘴。 若测量对象 Head 的各 AT C 没有分配到 上述吸嘴时 ，则会出现错误 。没有分配上述 吸嘴时， 请在测量前用「 机器设…
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自动校准
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(2) 选择 Head 吸嘴
在勾选框选择要进行测量的 Head。
可同时选择多个测量对象 Head。
(3) 装配位置 / 激光装配位置(Head 1 )
显示MS参数中保存的值和设置的结果。
(4) 操作
1)进度条
显示测量的进度。测量结束则变为 100%。
2)[确认]按钮
如按下[确认]按钮则各 Head 单元移动到等待位置，开始测量。
详情内容请参见下一小项「设置方法」。
警告
按下[确认]后轴将移动。
在按[确认]之前请务必确认无人在进行装置内部的作业。另外，为防止人身
伤害，在机器运转过程中切勿把手伸入设备内部，脸和头也不要靠近设备。
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11-2-2-1 设置方法
吸嘴分配、准备结束后，一边按[确认]按钮，一边按照[操作]显示的指示进行操作，即可自动获得
值。
1) 吸嘴分配
在 Head 偏移测量时使用 507 号吸嘴或 508C 号吸嘴。
若测量对象 Head 的各 ATC 没有分配到上述吸嘴时，则会出现错误。没有分配上述吸嘴时，
请在测量前用「机器设置」的「ATC 吸嘴分配」分配吸嘴。
2) 准备夹具
当校正块上无夹具时，应从夹具工作台将夹具移动到校正块上。
发生错误时，请重新安装夹具。
3) 安装夹具
把校正块的真空打开，吸取夹具。
4) 用 OCC 识别夹具
用OCC识别夹具位置，测量与夹具中心位置的倾角。
此时若无法识别夹具的 2 个孔时，即为错误。出错时，请重新安装夹具。
5) 吸取夹具
用设置 Head 吸取夹具, 关闭校正块的真空。
6) 用激光校准识别夹具
用激光校准识别夹具。
7) 算出安装位置和安装角度
由在 4)计算的夹具的倾角和 6)的识别结果计算激光校准安装角度和 Head 安装位置。
(8) 计算中心位置和倾角
通过 OCC 识别校正块的位置，计算出中心位置与倾角。
9) 吸取夹具(有校正)
将夹具安装在校准块的中心，把校准块的真空打开，吸取夹具。此时，对在(4)计算的夹具倾角
、 (7)计算的激光校准安装角度和 Head 安装位置、(8)计算的校准块倾角，进行校正后贴装。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自动校准
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10) 通过 OCC 识别夹具
通过OCC来识别夹具的位置。此时，若相对于校正块的位置偏差为绝对值1mm以上时，即为
错误。错误时，有可能必须重新设置MS参数。
11) 计算平均值
反复进行 4）到 10）。
测量结束时进度条变为 100%。
按下[确认]按钮，虽然测量值变成了有效，但是此时尚未被保存/设置。
经过应用程序结束才完成设置。详细内容请参照「11-1-2 设置值的保存及退出」。
如按下[取消]按钮，则测量值变为无效。