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维修调整要领书 3-1 第 3 章 贴装头周边部件 3-1 电磁阀零件的更换 降低主体的原压力，进行更换。 3-1-1 电磁阀的更换 1 ） 拆下②带垫片内六角螺栓（ ×4 ），卸下贴装头护罩。 2 ） 先拆下③带垫片内六角螺栓（× 2 ）、扎线、空气软管，再拆卸电磁阀主体。 3 ） 拆卸电磁阀。（注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈） 4 ） 装配请按相反的步骤进行。 5 ） 更换后请用手动控制贴装头真空 ON/OFF 的方式进行确认。 危险…
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2-10
2-7 更换贴装头部分后的从新调整
表 2-7-1 更换贴装头部分后的从新调整项目一览表
激光偏差 激光缩放比例 贴装头
偏差
贴装综合
偏差
贴装头组件
○ ○ ○
Z 马达
○
θ马达
○
LNC60
○ ○ ○
贴装头上升气缸
同步皮带 Z
○
同步皮带θ
○
Z 滑动轴
○ ○ ○
MS 参数请从左边按顺序输入。
更换贴装头装置组、Z 马达、同步皮带 Z 后进行激光偏差输入时，请将激光偏差的基板上面高度值置
为 0 之后重新取得。如果仍是更换前的偏差值，有些情况下可能不能正确取得偏差或不能自动取得。
注意
为了防止对人体造成伤害，触摸屏、HOD 操作时，请勿将手伸进机器内，
也不要将脸和头部靠近机器。
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3-1
第3章 贴装头周边部件
3-1 电磁阀零件的更换
降低主体的原压力，进行更换。
3-1-1 电磁阀的更换
1） 拆下②带垫片内六角螺栓（×4），卸下贴装头护罩。
2） 先拆下③带垫片内六角螺栓（×2）、扎线、空气软管，再拆卸电磁阀主体。
3） 拆卸电磁阀。（注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈）
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空 ON/OFF 的方式进行确认。
危险
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
③ 带垫片内六角
螺栓（×2）
② 带垫片内六角
螺栓（×4）
贴装头护罩
电磁阀
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3-2
3-1-2 过滤器的更换
・贴装头过滤器的更换
1） 按照 3-1-1 的 1）操作顺序卸下贴装头左盖。
2） 先拆卸① cap（×2），再拆卸过滤器箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
3） 取出过滤器并进行更换。
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空 ON/OFF 的方式进行确认。
3-1-3 大气开放用过滤器的更换
1） 按照 3-1-1 的 1）操作顺序卸下贴装头护罩。
2） 拧松③带垫片内六角螺栓（×2），然后拆卸大气开放用过滤器。
（只要拧松带垫片内六角螺栓就可以拆下过滤器）
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ ③带垫片内六角螺栓（2 个）是电磁阀的附属品。
①cap （×2）
贴装头过滤器
③带垫片内六角螺栓
（×2）
②带垫片内六角螺栓
（×4）
大气开放用过滤器