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维修调整要领书 5-1 第 5 章 基板传送装置 为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。 5-1 传送皮带的更换 1 ） 请松开传送皮带用张力调整皮带轮。 图 5-1-1 基板传送和传送皮带 2 ） 更换成表 5-1-1 货号的皮带。 3 ） 调整传送皮带的张力时，先测定没有施加张力的皮带长度，移动长孔部的传送皮带轮的位置， 让长度增加 0.5 ％。 ＜调整方法＞ 调整方法是，在传送轨道上用铅笔等以 200mm 的距离标…
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4-7
4-6 OCC 照明的光量调整
＜程序＞
1） 手动控制，确认 OCC 照明亮灯。
2） 进行 MS 参数的“OCC 光量调整”。
（「MS 参数」OCC 光量调整）
4-7 更换 OCC 部分后的从新调整
表 4-7-1 更换 OCC 部分后的从新调整项目一览表
摄像机
组件 L
照明
组件
CCD 摄像机
镜头 L
照明
基板组件
镜头
滤光片
焦点调整 ○ － ○ － －
滤光镜调整 △ ○ △ － ○
OCC 光量调整（注） △ ○ △ ○ ○
OCC 偏差（注） ○ － ○ － －
原点粗调（注） ○ － ○ － －
头部偏差（注） ○ － ○ － －
BMR 偏差（注）※ ○ － ○ － －
○：必须, △：确认, －：不需要
※：选购品
（注）参考 MS 参数
MS参数的输入，请从上开始按顺序进行。
注意
为了防止对人体造成伤害，触摸屏、HOD 操作时，请勿将手伸进机器内，也不
要将脸和头部靠近机器。
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5-1
第5章 基板传送装置
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
5-1 传送皮带的更换
1） 请松开传送皮带用张力调整皮带轮。
图 5-1-1 基板传送和传送皮带
2） 更换成表 5-1-1 货号的皮带。
3） 调整传送皮带的张力时，先测定没有施加张力的皮带长度，移动长孔部的传送皮带轮的位置，
让长度增加 0.5％。
＜调整方法＞
调整方法是，在传送轨道上用铅笔等以 200mm 的距离标上二个记号。
移动传送皮带轮，施加张力，让 2 个标记的距离变成 201mm。
此时，CENTER 缓冲，请注意传送轨道 FC、RC 施加皮带张力时，不要抬起来。
表 5-1-1 传送带货号
CENTER IN/OUT
IN/OUT
（1500mm 基板 安装 OP 时）
40075460 40107791 40122773
危险
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5-2
5-2 传送皮带轮的更换
传送皮带轮有 2 种。变更安装位置，错误组装方法的话，皮带轮的转动变化，传送皮带轮的校准也变
坏，发生皮带磨损。
请参照各传送皮带轮的组装方法。
5-2-1 传送皮带轮 A 组：E21117150A0
No 货 号 品 名 个数
1 E2111715000 传送皮带轮 A 1
2 SB104000100 滚动轴承 １
图 5-2-1-1 传送皮带轮Ａ组
5-2-2 传送皮带轮 B 组：E20897210A0
No 货 号 品 名 个数
1 E2111715000 传送皮带轮 B 1
2 SB104000100 滚动轴承 1
图 5-2-2-1 传送皮带轮 B 组