SPG2 使用说明书・操作篇.pdf - 第28页
SPG2 EJP1BC-SF-00CM-00 警告标牌 2 前侧 警告 1-3 -3 1-3 基板定位升降机 左侧面 右侧面 前侧
SPG2 EJP1BC-SF-00CM-00
警告
注意
基板定位升降机
1-3-2
PW0104M1 PC0107M1
前侧 前侧
前侧
PC0133M1
前侧
SPG2 EJP1BC-SF-00CM-00
警告标牌 2
前侧
警告
1-3-3
1-3
基板定位升降机
左侧面
右侧面
前侧
SPG2 EJP1BC-SF-00CM-00
前侧
后侧
左侧面
右侧面
1-3-4