TR7700_SII_Hardware_ch-v2.51_20120621.pdf - 第63页
Test Research Inc. TR 7700 SII User Guide -- Hardware 51 6.1.1. 3 Ｘ與Ｙ軸動態驅動器 圖 104 ：Ｘ與Ｙ軸 動態驅動器 6.1.1. 4 電源供應器 圖 105 ：電源供應器
Test Research Inc.
50 TR7700 User Guide--Hardware
6.1.1.1 打光控制箱
圖
102
：打光控制箱
6.1.1.2 電磁干擾過濾器(EMI Filter)
圖
103
：電磁干擾過濾器
Test Research Inc.
TR7700 SII User Guide--Hardware 51
6.1.1.3 Ｘ與Ｙ軸動態驅動器
圖
104
：Ｘ與Ｙ軸動態驅動器
6.1.1.4 電源供應器
圖
105
：電源供應器
Test Research Inc.
52 TR7700 User Guide--Hardware
6.1.2
後下門內部配置
機台後下內部的配置如下圖所示，主要包含：氣壓控制器、Module Board、PLC
Module、夾板馬達驅動器以及 Motion X 和 Motion Y。
圖
106
：後下門內部配置