TR7700_SII_Hardware_ch-v2.51_20120621.pdf - 第65页
Test Research Inc. TR 7700 SII User Guide -- Hardware 53 6.1.2. 1 氣壓控制器 圖 10 7 ：氣壓控制器 6.1.2. 2 Module Board (7100 - 006 - 7) 圖 108 ： Module B o ard (7100 - 006 - 7)
Test Research Inc.
52 TR7700 User Guide--Hardware
6.1.2
後下門內部配置
機台後下內部的配置如下圖所示，主要包含：氣壓控制器、Module Board、PLC
Module、夾板馬達驅動器以及 Motion X 和 Motion Y。
圖
106
：後下門內部配置
Test Research Inc.
TR7700 SII User Guide--Hardware 53
6.1.2.1 氣壓控制器
圖
107
：氣壓控制器
6.1.2.2 Module Board (7100-006-7)
圖
108
：
Module Board (7100-006-7)
