TR7700_SII_Hardware_ch-v2.51_20120621.pdf - 第64页
Test Research Inc. 52 TR 7700 User Guide -- Ha rdw are 6.1.2 後下門內部配置 機台後下內部的配置如下圖所示，主要包含：氣壓控制器、 Module Board 、 PLC Module 、夾板馬達驅動器以及 Motion X 和 Motion Y 。 圖 106 ：後下門內部 配置
Test Research Inc.
TR7700 SII User Guide--Hardware 51
6.1.1.3 Ｘ與Ｙ軸動態驅動器
圖
104
：Ｘ與Ｙ軸動態驅動器
6.1.1.4 電源供應器
圖
105
：電源供應器
Test Research Inc.
52 TR7700 User Guide--Hardware
6.1.2
後下門內部配置
機台後下內部的配置如下圖所示，主要包含：氣壓控制器、Module Board、PLC
Module、夾板馬達驅動器以及 Motion X 和 Motion Y。
圖
106
：後下門內部配置
Test Research Inc.
TR7700 SII User Guide--Hardware 53
6.1.2.1 氣壓控制器
圖
107
：氣壓控制器
6.1.2.2 Module Board (7100-006-7)
圖
108
：
Module Board (7100-006-7)