SM321 SERVICE MANUAL.pdf - 第163页
Head Module 4-59 6. 把喷嘴座组 装在 Ball spline ，插入 Ball spline Nut 。 组装喷嘴座时，请利用力矩扳手 进行组装。连接力矩为 18 kgf.cm 。 . 7. 插入 Ball spline Nut 后利用固 定螺丝 (M2–4 个 ) ，把 Ball spline Nut 组装在 Spline Housing Ass’y 。 8. 从下往上插 入 Ball spline ， Ball …
Samsung Component Placer SM321 Service Manual
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5. 向下推动Ball Spline进行分离后(A), 利用扳手分离Ball Spline和喷嘴座。然后向
上拉动Ball Spline Nut分离后替换成新的Ball Spline和Ball Spline Nut。
Ball Spline
Ball Spline Nut
A
C
B
Spline Housing
Ass’y
Head Module
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6. 把喷嘴座组装在Ball spline，插入Ball spline Nut。
组装喷嘴座时，请利用力矩扳手进行组装。连接力矩为18 kgf.cm。.
7. 插入Ball spline Nut后利用固定螺丝(M2–4个)，把Ball spline Nut组装在Spline
Housing Ass’y。
8. 从下往上插入Ball spline，Ball spline上组装接头后把弹簧连接到slidu body。
9. 打开设备前面的Main Switch，启动PC。
10. 利用示教框，慢慢旋转替换的头部，通过fly camera确认喷嘴座的偏心旋转程度
。 微调假组装的Ball splineNut直到喷嘴座不偏心旋转为止。 (可以如下图手动
旋转，肉眼确认偏心程度，但不建议这么做。)
11. 完成微细调整，请固定好固定螺丝。
12. R轴传感器dog组装时，请参照下图的设置。
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13. 完成组装后，确认Ball spline Nut周边有无污渍，利用真空清扫仪清扫干净。如
果 Ball spline Nut中流入污渍，影像设备性能。
14. 需要执行以下 Calibration作业。
Detect Z Offset 执行 (请参照“3.2 Z Offset Calibration “)
Nozzle Check 执行 (请参照“3.12 Nozzle Check “)
Nozzle Holder Check 执行 (请参照“3.2 Z Offset Calibration “)
Head Offset Calibration 执行 (请参照“3.5
Head X, Y Offset Calibration
“)
。
Fly camera Calibration 执行(请参照“3.6 Fly Camera Scale & Rotation
Calibration“)
Fly Cam Offset Calibration 执行 (请参照“3.7 Fly Camera & Head Spline
Offset Calibration“)
15. 完成校正后，为确认是否正常贴装部件，请执行测试。
Spindle Housing Ass’y 替换次序
1. 同样地执行到Ball spline 替换次序 No.1~No.3。
2. 利用扳手，从Ball Spline分离喷嘴夹具。
3. 为了作业方便请参照 ‘4.4.3 Flying Vision
照明部替换次序
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)’，分离
Outer 照明部和Side照明部Modue。
4. 从Head Body分离固定Bearing Plate的固定螺丝(M3-4个)，分离 R轴同步齿型带
后，向下推动分离 Spindle Housing Ass’y。
R轴home sensor dog
(Top View)
R轴辅助传感器dog
(Bottom View)