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QA表 NO. 1/ 1 机种 ①手动控制,确认OCC垂直照明和角度照明的亮灯情况。 ※确认所有的OCC。 ②前后转动偏光滤光镜,确认是否达到最亮的状态。 ③确认测定蚀前后的安全护罩是否关闭。 (角度照明) LGET输出结果 AVE_LVL = 96~94 ④按照MS参数的指示,把白色陶瓷基板设置到CAL块上。 (垂直照明) LGET输出结果 AVE_LVL = 48~45 ⑤调整电流值,使AVE_LVL成为规定值。 (外圈照明 选项)…

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