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QA表 NO. 1/ 1 机种 ① 将校准块铺在白纸上,把照相机调节用治具板的真空镀膜面(可清楚看到图案的面)朝下放在其上面。 ② 进行照相机调节治具板的调整,使可看到下图的标记。 比例容许值 X 0.0132±0.002mm/Pixel Y 0.0132±0.002mm/Pixel 比例调整后的X轴、Y轴之差 X-Y=±0.001mm/Pixel ③ 利用示教进行调整,使监视器的十字光标基本处于2个标记的中央,按HOD的Enter键。…

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