NPM-D3规格说明书.pdf - 第123页
NPM-D3 2014.0428 - 1 17 - 13. 尺寸图 ( 单位 : mm) Remarks 上述示图的缩小比例与实际机器在严 格上讲，并不完全一致。 在研讨生产线构成和尺寸时，请另行 索取资料。 本机下部如有设置通风道等时，请确 保与主体间空隙保持 40 mm 以上。 1 207 864 1 629 1 514 1 444 900 820 832 ( 主体 ) 57 ( 基板传送高度 ) 830 820…
NPM-D3 2014.0428
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12.2
空气投入部
后 侧
空气软管(长度: 5 m)
80PN
(
日东工器
)
30SM-TS
(
日东工器
)
工厂侧配管连接口
直径
: Rc3/8
设备附带部件
客户准备
NPM-D3 2014.0428
- 117 -
13.
尺寸图
(
单位
: mm)
Remarks
上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持
40 mm
以上。
1 207
864
1 629
1 514
1 444
900
820
832 (主体)
57
(基板传送高度)
830
820 55
(传送带长度)
(罩外形)
前 侧
Air
电源
2 652
941 941 686
515
80
686 1 025
194
114
交换台车规格 托盘供料器规格
2 683 (2 729: 连接交换台车时)
941 1 056 686
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
托盘供料器或者交换台车
交换台车
交换台车
交换台车
(1 102: 连接交换台车时)
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■ 调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
223
A
IR
0.5 MPa ~ 0.8 MPa
传送带基准面
电源
825
1359.5 673.5
2 575
421 1 290 444 420
660
820
80 80
139
前 侧