SM421(Chi) Maintenance Handbook-Distribution.pdf - 第23页
SM 42 1 Ma int en an ce Ha nd bo ok 23 P ART III 定期检验 3. Nozzle Holder 更换 用Z轴下降要更换的吸嘴座主轴 使用 5mm 扳手(A地点))和 8mm 扳手(B地 点)分离吸嘴座后进行更换 主轴下降到使用扳手可作业的位置 1 2 3 P ART III. 定期检验
SM421 Maintenance Handbook
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PART III. 定期检验
2. Nozzle Holder
检验
吸嘴安装到吸嘴座
(Nozzle Holder)
后如果吸嘴松，则参照
<Part IV>
的
'Nozzle Holder Tube'
后进行更换
Nozzle Holder Tube
。
Nozzle Holder
偏心旋转时应替换
Nozzle Holder
。
1. 安装吸嘴后，确认松紧 2. 确认吸嘴座(Nozzle Holder)是否偏心旋转
SM421 Maintenance Handbook
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PART III
定期检验
3. Nozzle Holder
更换
用Z轴下降要更换的吸嘴座主轴
使用5mm扳手(A地点))和8mm扳手(B地
点)分离吸嘴座后进行更换
主轴下降到使用扳手可作业的位置
1 2 3
PART III. 定期检验
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PART III. 定期检验
参照
<Part1>
的
“
维修前共同执行程序
”
中
‘Motor Free’
部分第5页
Fly Camera
检验
1. Mirror
清扫
1.Head Assembly的后面移动
2. 转换成Motor Free方式
3. Main开关OFF
4. 使用刷子或小刷擦拭灰尘
参照
<PART I>
的
‘
维护前共同执行程序
’
中
‘Head Assembly
的
后面移动
’
部分第7页