SM321 Service-CHI.pdf - 第267页
Feeder Base & ANC 7-1 1 4. 组装新 ANC , 确保器具组装程度 X Gantry 和 ANC 平 mm 附 着 Dial Gage , 组 装 时 与 AN C 的 Main Bod y 的 度 保 持 。 Module 。此时 以内。 X 轴 (Head) 上 0.02mm 以内 行度 : 0. 02 平 行 5. 作业完成后 ,打开设备前面的 Main Switch ,启动 PC 。 6. …

Samsung Component Placer SM321 Service Manual
2. 正 闭设备前面的Main Switch。 常关闭PC后关
3. 除去下图中所示的固定螺丝,分离不良ANC Module。
Main Switch 闭 方
向(逆时针方向)
关
固定螺丝(M6-4个)
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Feeder Base & ANC
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4. 组装新ANC ,确保器具组装程度X Gantry和ANC平 mm
附着Dial Gage,组装时与ANC的Main Body的 度保持
。
Module。此时
以内。
X 轴(Head)上
0.02mm以内
行度: 0.02
平行
5. 作业完成后,打开设备前面的Main Switch,启动PC。
6. 请更新ANC的Fiducial Position & Mark。
请执行ANC Fiducial Teaching。
按Scan使Teaching坐标的误差X,Y diff值到0.005mm以内时为止反复进行补
正。
为适用Scan补正的坐标,暂先关闭ANC画面,再重新打开。
测定地点全区间: 0.02 mm 内 以
3
4
5
1
2

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请确认ANC Pocket的 Position。
7.2.3. ANC Shutter Speed
Speed Controller 异常 (ANC 误启动)
7.2.3.1. ANC Shutter Speed 调节次序
1. 操作示教框执行设备初始化(Homing)。
2. 按设备前面的<EMG>按钮,切断电动机电
Shutter工作状 Speed Controller
减 逆时针
源。
3. 为调整Shutter的Close及Open Speed,在 态下调整
。
向顺时针方向转动Speed Controlle为 速, 方向转动为提速。
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