SM321 Service-CHI.pdf - 第53页
Calibration 3-5 10. 完成后，点击 <Update> 按钮反映变 更值 3.2. Z Offset Calibration 轴高度设为 ‘0’ 时执行的校 正。 1. 点 击 < 测 试 Z 偏 移 > 按 钮 。 ( 在 这 里任意用 Head 1 设定 ) 11. 然后若显示是否执行设 备初始化 (Homing) 对话框，请选择“ 否 (N) ” 12. 利用示教框执行设备初 始化 (H…
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9. 上图‘Position’对话框中显示的Mirror值减去‘177’得值输入到‘System Axis Limit
Info.’对话框的<Home Offset>编辑框。（此时<Motor Select>目录框中应为已选
定‘Swing mirror motor’状态）
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2
3-4
Calibration
3-5
10. 完成后，点击<Update>按钮反映变更值
3.2. Z Offset Calibration
轴高度设为‘0’时执行的校正。
1. 点击 <测试Z偏移> 按钮。(在这
里任意用Head 1设定)
11. 然后若显示是否执行设备初始化(Homing)对话框，请选择“否(N)”
12. 利用示教框执行设备初始化(Homing)。
PCB顶面（基准面）到各头部Z
在<Grid>领域点击要执行校正Head的Z轴，再
2. 手动除去安装在所有磁头的吸嘴。
3. Head 1上安装CN040吸嘴。
4. 点击<下个>按钮，Head 1移动到 ANC 顶面的任意位置。 (可指定位置)
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5. 此时，如果ANC顶面杂乱则需清理干净，若磁头在无法清除瑕疵的部分则移动
到干净的部分（可移动X、Y）
6. 设备发生空压，自动压下 Head 1自动找到偏移。
完成校正后显示结果画面窗口，问是否要升级（Update）。 7.
8. 设备中适用校正结果时进行升级就可以。
9. 同样对Head 2 ~ Head 6进行测定。
正常的Z偏移值如下。
Head1~ Head6: 77.5 ~ 80.5 mm
若Z Offset值超出该范围，则说明磁头有严重的器具性问题，需要确认home位
置、主轴、LM和电动机的工作是否正常。
备 注
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