KE-3010_20V_20VR操作手册Ⅰ（操作员）.pdf - 第58页

第 1 部基本編第 3 章维护 <XL 基板规格> IN,OUT 传感器 WAIT,STOP,C・OUT, 传感器 WAIT,STOP,C・OUT, 传感器 4-16

第 1 部基本編第 3 章维护

清扫部位

4-3-3 各种传送传感器

实施频度：每月

清扫内容清扫传感器视窗使用工具：抹布推荐溶剂：IPA

1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、受光面附着的灰尘和垃圾清除干净。

如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。

<M、L、L-Wide 基板规格>

WAIT,STOP,C・OUT 传感器

IN,OUT 传感器

4-15

第 1 部基本編第 3 章维护

IN,OUT 传感器

WAIT,STOP,C・OUT, 传感器

4-16

第 1 部基本編第 3 章维护

清扫部位

4-3-4 CAL块

实施频度：每周

清扫内容清扫 CAL 块使用工具：抹布推荐溶剂：IPA

1) 检查 CAL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。

若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。

如果去不掉脏污，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。

②

①

4-17