SM431说明书.pdf - 第181页
Head Module 4-57 4.9. V acuum/Blow 4.9.1. V acuum/Blow 问题点发生时代表事例 发生部件吸附关联问题 部件贴装关联问题发生 4.9.2. 必要工具 Blow Setting 齿垢 (J6710006A) 內 4mm Air Hose 150mm Straight Fitting 4.9.3. V acuum 有关服务次序 4.9.3.1. 确认 Main Air 压…
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8. Spindle Housing Ass’y . .
9. 组装R轴的Timing Belt时, 进行与“4.6.4 Timing belt(Spindle axis) (Page4-3)”的
10号项目一样的设置
10. 在Spline Shatf组装Nozzle Holder时使Spline Nut不承受过大的力最大限度上升Z
轴 Spline Shaft从Head本体最小突出的状态下要用规定的力矩(12Kgf-cm)进行组
装。如果不遵守此要求则Spline Shaft弯曲可能大幅下降设备的性能。
Nozzle Holder 组装时如图使 插入Master Nozzle的
Nozzle侧面晃动在0.04mm以内调节
Spline 顶端进行组装。
需要重新设置Theta被动方Pully，重新设置 Pully后执行
Rotation Center补正及Runout补正。
11. 打开设备前面的Main Switch，启动 PC。
12. 同样地执行到Ball spline 替换次序 No.11~No.13。
13. 需要以下 Calibration
作业。
Head Z/R Axis Offset Calibration 执行. (请参照“3.1.10.2 Head Z / R Offset
Calibration (Page3-3)”.)
Head Offset Calibration 执行. (请参照“3.1.10.3 Head Offset Calibration
(Page3-3)”.)
Fly-Camera Offset Calibration 执行. (请参照“3.1.10.5 Fly Camera Offset
Calibration (Page3-3)”.)
Fly to Fix Camera Offset Calibration 执行. (请参照“3.1.10.6 Fly to Fix Camera
& Fly Runout Offset Calibration (Page3-3)”.)
R-Axis Offset Calibration 执行. (请参照“3.1.10.7 R-Axis Offset Calibration
(Page3-3)”.)
14. 完成校正后，为确认是否正常贴装部件，请执行测试。
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4.9. Vacuum/Blow
4.9.1. Vacuum/Blow 问题点发生时代表事例
发生部件吸附关联问题
部件贴装关联问题发生
4.9.2. 必要工具
Blow Setting 齿垢(J6710006A)
內 4mm Air Hose 150mm
Straight Fitting
4.9.3. Vacuum 有关服务次序
4.9.3.1. 确认Main Air压力Setting
请确认Main Air压是否 “0.5Mpa。
因Blow设置时受Main Air压影响，请务必在Blow设置及Blow确认前把 Main Air
压设置为“0.5Mpa”。
注 意
设置压力异常时会发生设备功能及性能障碍。请正确调整设置
压力。
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4.9.3.2. Head vacuum level的0点 Setting
确认各Head的 Vacuum Level(Current Level=0±10mmHg)。这时所有Head的
Vaccum要处于Off状态。
此操作为Vac uum 及Blow 设置的基准，如果结果值无法满足此基准, 请重新执
行Head Vacuum Level “0”点 Setting。
调整Head I/F Board的可变电阻，使之符合Setting基准。
调整Head I/F Board的可变电阻, MMI Vacuum Diagnosis Current Level Current
Level设置为0±10mmHg.
调整可变电阻 Current Level设置为‘0’
4.9.3.3. Head vacuum level 检点
为执行头部真空度检查，依次执行以下过程。
过滤器 / 管道堵塞检查
在未贴装喷嘴的状态下按各个Head打开Va cuum（真空装置）使Vacuum Level维
调整可变