TM3214.僲僘儖僶僼傿儞僌堎忢専弌婡擻愢柧彂.pdf - 第19页

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 



MDOC-SOFT50121 

17/19

5.5

5.55.5

5.5



 ノズルバフィング

ノズルバフィングノズルバフィング

ノズルバフィング異常検出

異常検出異常検出

異常検出の

のの

の詳細動作

詳細動作詳細動作

詳細動作





ノズルバフィング異常検出は 7 つの作業工程で実施されます。

作業工程

作業工程作業工程

作業工程１

１１

１：

：：

：開放真空圧

開放真空圧開放真空圧

開放真空圧の

のの

の測定

測定測定

測定





1. [測定位置 X]、[測定位置 Y] へ XY 軸移動

2. 対象ヘッドを速度 100%で [測定高さ(mm)]+[速度切り替え高さ(mm)] へ Z 軸移動

3. 対象ヘッドのバキューム ON、[負圧確認タイマー(msec)] だけ待つ

4. 開放真空圧の測定



作業工程

作業工程作業工程

作業工程２

２２

２：

：：

：バフィ

バフィバフィ

バフィング

ングング

ング前

前前

のの

の接地真空圧

接地真空圧接地真空圧

接地真空圧の

のの

の測定

測定測定

測定





1. 対象ヘッドを速度 [接地下降速度(%)]%で [測定高さ(mm)]+[接地目標高さ(mm)] へ Z 軸移

動

2. 対象ヘッドのバキューム ON、[負圧確認タイマー(msec)] だけ待つ

3. バフィング前の接地真空圧の測定



作業工程

作業工程作業工程

作業工程３

３３

３：

：：

：サーボバフィング

サーボバフィングサーボバフィング

サーボバフィングによる

によるによる

による押込

押込押込

押込み

みみ

み







1. 対象ヘッドを速度 100%で [測定高さ(mm)]+[押込み助走距離(mm)] へ Z 軸移動

2. 対象ヘッドを速度 [押込み下降速度(%)] で [測定高さ(mm)]+[押込み助走距離(mm)] +[押

込み量(mm)] へ [固着検出荷重(N)] でサーボバフィング Z 軸移動



作業工程

作業工程作業工程

作業工程４

４４

４：

：：

：サーボバフィング

サーボバフィングサーボバフィング

サーボバフィングによる

によるによる

による荷重

荷重荷重

荷重チェック

チェックチェック

チェックの

のの

の実行

実行実行

実行





1. サーボバフィングによる荷重チェック

サーボバフィングによる荷重チェックは、サーボバフィングによる押込み時の目標座標と移動

後の座標を比較します。

移動後の座標が目標座標の交差範囲内に到達していなければ [重度異常]（伸びたままバフ

ィングが完全固着している）と判定されます。



作業工程

作業工程作業工程

作業工程５

５５

５：

：：

：Z

Z 軸

軸軸

軸モータ

モータモータ

モータ電流値

電流値電流値

電流値による

によるによる

による荷重

荷重荷重

荷重チェック

チェックチェック

チェックの

のの

の実行

実行実行

実行





1. Z 軸モータ電流値による荷重チェック

Z 軸モータ電流値による荷重チェックは、サーボバフィングによる押込み時の電流値を 8ms 周

期で計測し、 [サンプリング数] の間隔で最大値と最小値を求め、その電流差を比較します。

最大値と最小値の差が [電流差許容値] を越えた場合 [軽度異常]（バフィング動作するが

引っかかりがある）と判定されます。

また、このチェックは [電流値チェック] の設定値を [しない] へ変更することでチェックしない

ことも可能です。



  

 IM 

 



MDOC-SOFT50121 

18/19

作業工程

作業工程作業工程

作業工程６

６６

６：

：：

：バフィング

バフィングバフィング

バフィング後

後後

後の

のの

の接地真空圧

接地真空圧接地真空圧

接地真空圧の

のの

の測定

測定測定

測定





1. 対象ヘッドを速度 [接地下降速度(%)]%で [測定高さ(mm)]+[接地目標高さ (mm)] へ Z 軸移

動

2. 対象ヘッドのバキューム ON、[負圧確認タイマー(msec)] だけ待つ

3. バフィング後の接地真空圧の測定



作業工程

作業工程作業工程

作業工程７

７７

７：

：：

：真空圧

真空圧真空圧

真空圧による

によるによる

による接地

接地接地

接地チェック

チェックチェック

チェックの

のの

の実行

実行実行

実行

1. 真空圧による接地チェック

真空圧による接地チェックは、これまで測定してきた真空圧を比較します。

“開放真空圧＋２ > Average(バフィング前の接地真空圧 、バフィング後の接地真空圧)” が

成り立たなければ [中度異常]（バフィングが固着し、ノズル長さが短くなっている）と判定され

ます。

“|バフィング前の接地真空圧 - バフィング後の接地真空圧|> 真空圧計算式結果(*1)” が成

り立たなければ [中度異常]（バフィングした後そのまま戻らなくなり、ノズル長さが短くなる）と

判定されます。



*1

真空圧計算式結果＝

 0.088×（ノズル別真空圧装着レベル – ノズル別真空圧吸着レベル）＋3.4



  

 IM 

 



MDOC-SOFT50121 

19/19



①

②

③④⑤

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(mm)

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(mm)

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(mm)

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(mm)

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②

(mm)

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(mm)

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(mm)

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③④⑤

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⑥⑦

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(mm)

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(mm)

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(mm)

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(mm)

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