FX-3-Rev13(-J).pdf - 第145页
- 140 - NOTE( 注記 ) #01....FOR EN ＥＮ 用 #02....TYPE XL ＸＬ 仕様 #03....WITH USE OF NO.72(40047 557) ＮＯ．７２（４０ ０４７５５７）とセッ トで使用 #04....WHEN REPL ACE FROM OLD PWB 40047514 TO NEW PW B 40047558, PLEASE CHANGE WIT H ETHER-SLAVE PCB…
- 139 -
70.SYSTEM DIAGRAM (XY-RELAY)
ＳＹＳＴＥＭ ＤＩＡＧＲＡＭ（ＸＹ − ＲＥＬＡＹ）
YRRROG
YLRR+L
YLRRNR
YLRROG
YRRFOG
YLRF-L
YLRFNR
CN136
CN132
CN130
CN136
CN136
CN132
CN130
YLRFOG
CN136
9-2B
3-3D
3-4A
3-2D
3-3A
2-4D
2-3D
2-2D
2-1D
2-4B
2-3B
1-2A
1-5D
1-2D
4-3C
4-3A
7-4A
7-1A
6-4A
6-1A
2-1D
6-1A
1-4C
SENSOR
YR(RR) ORG
SENSOR
YL(RR) +LIMI T
SENSOR
YL(RR) NEAR
SENSOR
YL(RR) ORG
SENSOR
YR(RF) ORG
SENSOR
YL(RF) -LIMIT
SENSOR
YL(RF) NEAR
SENSOR
YL(RF) ORG
XY5
CN5
CN130
CN132
CN130
CN131
CN144
CN152
CN131
CN130
CN144
CN130
CN132
CN152
SENSOR
X(RR) NEAR
SENSOR
X(RR) +LIMIT
SENSOR
X(RR ) - LIM IT
SENSOR
Y(R) C LIMIT
SENSOR
X(RF) NEAR
SENSOR
X(RF ) + LIM IT
SENSOR
X(RF) -LIMIT
CN127
CN127
127RR
127RF
XY6
CN6
SENSOR
X(LR) NEAR
SENSOR
X(LR) +LIMIT
SENSOR
X(LR) -LIMIT
SENSOR
Y(L) C LIMIT
SENSOR
X(LF) NEAR
SENSOR
X(LF) +LIMIT
SENSOR
X(LF) -LIMIT
YRLRNR
YRLROG
YRLR+L
YLLROG
YRLFNR
YRLFOG
YRLF-L
SENSOR
YR(LR) NEAR
SENSOR
YR(LR) ORG
SENSOR
YR(LR) +LIMIT
SENSOR
YL(LR) ORG
SENSOR
YR(LF) NEAR
SENSOR
YR(LF) ORG
SENSOR
YR(LF) -LIMIT
SENSOR
YL(LF) ORG
CN130
CN136
CN132
CN136
CN130
CN136
CN132
YLLFOG
CN1 27
CN136
XY1
CN1
127LR
CN14 4
CN130
CN132
CN152
CN131
CN144
CN144
CN130
CN152
CN132
CN131
CN127
127LF
XY2
CN2
ETHER-MAIN
PCB
EN3
EN3
ETHER-SLAVE
PCB(BC)
EN1
8-1B
ETHER-SLAVE
PCB(XY)
EN1 J1
J2
EN2
ES-BC
EN1
ES-XY
EN1
ES-XY
EN2
CN16
XY-RELAY
PCB
P1
P2
SCALE
HEAD
YL(LF )
SCALE
HEAD
YR(LF)
SCALE
HEAD
YL(LR)
CN141(YL)
Y
CN142(YR)
CN142(YL)
Y
Y
YL-LF
CN133(YL)
XY
CN26
CN27
XY
YR-LF
CN134(YR)
XY
CN28
CN134(YL)
YL-LR
CN141(YR)
CN133(YR)
YR-LR
XY
CN29
XY
CN32
CN134(YL)
YL-RF
CN142(YL)
Y
Y
XY
CN33
YR-RF
CN133(YR)
CN141
Y
CN141(YL)
CN133(YL)
YL-RR
XY
CN34
CN142(YR)
CN134(YR)
YR-RR
XY
CN35
Y
Y
SCALE
HEAD
YR(RR)
YL(RR)
HEAD
SCALE
YR(RF)
HEAD
SCALE
YL(RF)
HEAD
SCALE
SCALE
HEAD
YR(LR)
CN26
CN38
CN27
CN39
CN28
CN40
CN29 CN41
CN3
2
CN44
CN33
CN45
CN34
CN46
CN35
CN47
XYCN47
CN2L
XYCN46 CN2L
CN2L
YR(RR)
SERVO AMP
SERVO AMP
YL(RR)
CN2L
XYCN45 CN2L
SERVO AMP
YR(RF)
CN2L
XYCN44
CN2L
SERVO AMP
YL(RF)
CN2L
XYCN41
CN2L
CN2L
SERVO AMP
YR(LR)
XYCN40
CN2L
CN2L
SERVO AMP
YL(LR)
XYCN39
CN2L
CN2L
SERVO AMP
YR(LF)
2-2B
XYCN38
CN2L
2-1B
CN2L
SERVO AMP
YL(LF)
HEAD-IO CN245 CN801
LF245
HEAD-MAIN
PCB (LF)
CN15
HEAD-IO
XY16
CN245 CN801
HEAD-MAIN
PCB (LR)
CN15
LR245
HEAD-MAIN
PCB (RF)
CN15
CN801
CN245
RF245
HEAD-IO
CN801
CN245
HEAD-IO
RR245
HEAD-MAIN
PCB (RR)
CN15
PWRL-IO PWRL064
CN064
POWER UNIT
(L)
PWRR-IO PWRR 064
APIL03
CN064
CN3
POWER UNIT
(R)
AC PWR INPT
UNIT (L)
SAFE-IO
VAC-IO
CN-P1
CN-P2
CN08
AIR PRESS URE
METER (+)
AIR PRESSURE
METER (-)
XY-RELAY
PCB
XY-RELAY
PCB
13
7
56
3
22 22 22 22 22 22 22 22
23
25
23
26 27
24
28
24
29
24
30
24
31
23
32
23
3433 35 36 37 38 39 40
41 41 41 41 41 41 41 41
19
2120
1815
17
15
16
14141414
13 13 13 13
11
12
10101010
7
42
23 24 50
43
44 45
4647 4849 46 4748
5147514851475148
7
4
23
45
24
2
8
43 8
46 4748 4647 48 49 5148475151484751
- 140 -
NOTE( 注記 ) #01....FOR EN ＥＮ 用
#02....TYPE XL ＸＬ 仕様
#03....WITH USE OF NO.72(40047557) ＮＯ．７２（４００４７５５７）とセットで使用
#04....WHEN REPLACE FROM OLD PWB 40047514 TO NEW PWB 40047558,
PLEASE CHANGE WITH ETHER-SLAVE PCB ASM 40047557.
旧４００４７５１４から４００４７５５８に交換するときは、
ＥＴＨＥＲ − ＳＬＡＶＥ ＰＣＢ ＡＳＭ ４００４７５５７を
一緒に交換してください。
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-49647 ETHER-MAIN PCB ASM
イーサメイン基板組
1
2 400-47900 XY-RELAY SENS CABLE (XR) ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ センサーケーブル（ＸＲ）組
1
3 400-47557 ETHER-SLAVE PCB ASM
ＥＴＨＥＲ − ＳＬＡＶＥ 基板組
2
4 400-47898 XY-RELAY SENS RLY CABLE (YR) ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ センサ中継ケーブル（ＹＲ）組
1
5 400-47950 ETHER CABLE MAIN-XY ASM
イーサケーブル ＭＡＩＮ − ＸＹ 組
1
6 400-47951 ETHER CABL XY BASECARRY ASM
イーサケーブル ＸＹ − ＢＡＳＥＣＡＲＲＹ 組
1
7
#04
400-47558 XY-RELAY PCB ASM
ＸＹ−ＲＥＬＡ基板組
3
8 400-48241 X NEAR SENSOR RELAY CABLE ASM
Ｘ ＮＥＡＲ 中継ケーブル組
2
9 400-47957 XY-RELAY I/O CABLE ASM
ＸＹ−ＲＥＬＡＹ Ｉ／Ｏケーブル組
1
10 400-47973 HEAD I/O CABLE ASM
ヘッド Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
4
11 400-44541 OPTICAL FIBER CABLE 0.15M
光ファイバケーブル 0.15M
1
12 400-47959 PWR UNIT I/O CABLE (R) ASM
パワーユニット Ｉ ／ Ｏ ケーブル（Ｒ）組
1
13 400-47500 XY BEAR CABLES D ASM
ＸＹ ベアケーブル Ｄ 組
4
14 400-47506 HEAD-MAIN PCB ASM
ＨＥＡＤ − ＭＡＩＮ 基板組
4
15 400-47079 POWER_SUPPRY_ASSY
電源供給組
2
16 400-47139 POWER SUPPRY ASSY L(EN)
電源供給組（左）ＥＮ
1
17 400-47140 POWER SUPPRY ASSY R(EN)
電源供給組（右）ＥＮ
1
18 400-47572 AC POWER INPUT UNIT(L)
ＡＣ 入力ユニット（Ｌ）
1
19 400-47968 VACUUM I/O CABLE ASM
バキューム Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
1
20 400-48168 AIR PRESSURE SW ASM
正圧センサー組
1
21 400-02333 AIR PRESSURE METER ASM
エアプレッシャーメータ組
1
22 400-44532 MAGNETIC SCALE Y SENOR UNIT
マグネチックスケール Ｙ センサユニット
8
23 400-47810 Y BEAR A CABLES ASM
Ｙ ベア Ａ ケーブル組
6
24 400-47811 Y BEAR B CABLES ASM
Ｙ ベア Ｂ ケーブル組
6
25 400-47709 YL LF LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＬ ＬＦ リニアセンサケーブル組
1
26 400-47713 YR LF LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＲ ＬＦ リニアセンサケーブル組
1
27 400-47710 YL LR LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＬ ＬＲ リニアセンサケーブル組
1
28 400-47714 YR LR LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＲ ＬＲ リニアセンサケーブル組
1
29 400-47711 YL RF LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＬ ＲＦ リニアセンサケーブル組
1
30 400-47715 YR RF LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＲ ＲＦ リニアセンサケーブル組
1
31 400-47712 YL RR LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＬ ＲＲ リニアセンサケーブル組
1
32 400-47716 YR RR LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＲ ＲＲ リニアセンサケーブル組
1
33 400-47733 YL LF ENC CABLE ASM
ＹＬ ＬＦ エンコーダケーブル組
1
34 400-47737 YR LF ENC CABLE ASM
Ｙ
Ｒ ＬＦ エンコーダケーブル組
1
35 400-47734 YL LR ENC CABLE ASM
ＹＬ ＬＲ エンコーダケーブル組
1
36 400-47738 YR LR ENC CABLE ASM
ＹＲ ＬＲ エンコーダケーブル組
1
37 400-47735 YL RF ENC CABLE ASM
ＹＬ ＲＦ エンコーダケーブル組
1
38 400-47739 YR RF ENC CABLE ASM
ＹＲ ＲＦ エンコーダケーブル組
1
39 400-47736 YL RR ENC CABLE ASM
ＹＬ ＲＲ エンコーダケーブル組
1
40 400-47740 YR RR ENC CABLE ASM
ＹＲ ＲＲ エンコーダケーブル組
1
41 400-48020 SERVO AMP 3.5KW
Ｙ 軸 ＡＭＰ
8
42 400-47899 XY-RELAY SENS CABLE (XL) ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ センサーケーブル（ＸＬ）組
1
43 400-48242 X PLUS LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ プラスリミット中継ケーブル組
2
44 400-47882 X C LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ センタリミット中継ケーブル組
1
45 400-47881 X POS LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ プラスリミット中継ケーブル組
2
46 400-02228 X MINUS LMT SENSOR ASM
Ｘ 軸マイナスリミットセンサ組
4
47 400-02227 X PLUS LMT SENSOR ASM
Ｘ 軸プラスリミットセンサ組
8
48 400-02229 X ORG RANGE SENSOR ASM
Ｘ 軸原点周囲センサ組
8
49 400-47880 YC LIMIT SENSOR ASM
ＹＣ リミットセンサ組
2
50 400-47897 XY-RELAY SENS RLY CABLE (YL) ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ センサ中継ケーブル（ＹＬ）組
1
51 400-02171 YL ORG SENS ASM
ＹＬ 原点センサ組
8
- 141 -
71.SYSTEM DIAGRAM (Z-THETA POWER)
ＳＹＳＴＥＭ ＤＩＡＧＲＡＭ（Ｚθ ＰＯＷＥＲ）
1
2
3
4
5
7
6
9
8
10
11 12
13
15
14
16
17
18
20
19
21
22
23 24
25
2-3A
CNP1
SERVO AMP
Z
(LF-1)
ZTACNP1
5-1A
5-1A
SERVO AMP
Z
(LF-2)
2-3A
CNP1
ZTBC NP1
2-3A
CNP1
SERVO AM P
Z
(LF-3)
5-2A
ZTCCNP1
CN214
CN213
CN212
CN211 CN201
CN202
CN013
CN014
CN037
3-2B
CN013
CN01 4
CN037
4-5A
POWER UNI T(L)
2-5B
SERVO AMP
CNP1
ZTACNP1
Z
(LR-1)
5-3A
5-4A
2-5B
CNP1
SERVO AMP
Z
(LR-2)
ZTBCNP1
2-5B
CNP1
SERVO AMP
Z
(LR-3)
5-5A
ZTCCNP1
CN214
CN213
CN212
CN211
CN202
CN201
CN015
CN016
CN038
4-3A
CN015
CN016
CN038
6-1A
POWER UNIT(L)
2-3C
CNP1
ZTACNP1
SERVO AMP
Z
(RF-1)
5-1B
5-1B
2-3C
CNP1
SERVO AMP
Z
(RF-2)
ZTBCNP1
2-3C
CNP1
SERVO AMP
Z
(RF-3)
5-2B
ZTCCN P1
CN211
CN212
CN201
CN202
CN213
CN214
CN013
CN014
CN037
3-2B
CN013
CN014
CN037
4-5C
POWER UNIT(R)
2-5D
CNP1
SERVO AMP
Z
(RR-1)
ZTACN P1
5-3B
2-5D
CNP1
SERVO AMP
Z
(RR-2 )
5-4B
ZTBC NP1
2-5D
CNP1
SERVO AMP
Z
(RR-3)
5-5B
ZTCCN P1
CN211
CN212
CN213
CN201
CN202
CN015
CN016
CN038
7-1A
4-3C
CN015
CN016
CN038
POWER UNIT(R)
CN214
1
11
11
11
11
1
1
26
27
26 28
26
28
26
27