FX-3-Rev13(-J).pdf - 第20页
- 15 - 8. CAL BLOCK COMPONENTS ＣＡＬ ブロック関係 6 10 8 11 16 15 14 13 5 12 4 7 9 36 2 18 20 22 23 25 24 27 29 30 31 25 26 32 33 17 3 21 28 19 40 42 39 35 34 1 37 38
- 14 -
NOTE( 注記 ) #01....FOR ST ＳＴ 用
#02....FOR EN ＥＮ 用
#03....M/C REV. ∼ E:HN002940000, マシン ＲＥＶ．∼ Ｅ：ＨＮ ００２９４００００，
M/C REV.F ∼ :HN003150000 マシン ＲＥＶ．Ｆ ∼：ＨＮ ００３１５００００
#04....M/C REV. ∼ E マシン ＲＥＶ．Ｄ まで
(HB000210010:2 PIECE AND THE （ＨＢ ０００２１００２１：２個 ,
HB000210020:1 PIECE FIXATION USE IT.) ＨＢ ０００２１００２０：１個を固定使用）
#05....M/C REV. ∼ E:HA005920000, マシン ＲＥＶ．∼ Ｅ：ＨＡ ００５９２００００，
M/C REV.F ∼ :HA006190000 マシン ＲＥＶ．Ｆ ∼：ＨＡ ００６１９００００
#06....M/C REV. ∼ E:40047109, マシン ＲＥＶ．∼ Ｅ：４００４７１０９，
M/C REV.F ∼ :40082036 マシン ＲＥＶ．Ｆ ∼：４００８２０３６
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1
#01
400-47061 CARRY DRIVER UNIT
搬送ドライバ組
1
2
#02
400-47143 CARRY DRIVER UNIT(EN)
搬送ドライバユニット ＥＮ
1
3 400-63472 CARRY BRACKET R
キャリーブラケット Ｒ
(1)
4 HM-0013200-00 MOTOR DRIVER
モータドライバ
(5)
5
#01
HX-0042000-00 5 PHASE STEP DRIVER
５相ステッピングモータドライバ
(4)
6
#02
HX-0068900-00 5 PHASE STEP DRIVER
５相ステッピングモータドライバ
(4)
7 SD-0680276-TP SHOULDER SCREW D=6.8 H=2.7
段ねじ Ｄ ＝６．８ Ｈ ＝２．７
(4)
8 SL-4041081-SC SCREW M4 L=10
なべ小ねじセムス Ｍ ４ Ｌ ＝１０
(18)
9 400-63471 CARRY BRACKET L
キャリーブラケット Ｌ
(1)
10 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(13)
11 SM-4040801-SC SCREW M4X0.7 L=8
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝８
(13)
12 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(4)
13 400-47108 NOISE FILTER ASSY
ノイズフィルタ組
1
14 400-63473 DIN RAIL
ディンレール
(1)
15 400-73841 BRACKER BRACKET A
ブレーカブラケット＿ Ａ
(1)
16 SD-0600206-TP SHOULDER SCREW
段ねじ Ｄ ＝６ Ｈ ＝２
(2)
17 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(6)
18 400-63475 REAR COVER
リアカバー
(1)
19 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(2)
20 SM-4040801-SC SCREW M4X0.7 L=8
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝８
(2)
21 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ ４ Ｌ ＝８
(6)
22
#03
HN-0031500-00 NOISE FILTER
ノイズフィルター
(1)
23
#04
E9641-040-000 RELAY MY-2 DC-24V
リレー ＭＹ ２ ＤＣ ２４ Ｖ
(1)
24
#05
HA-0061900-00 MAGNETIC CONTACTOR
電磁開閉器
(1)
25 HK-0694500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(8)
26 HK-0780900-20 BLOCK TERMINAL
端子台
(5)
27 HK-0694900-00 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
28 HK-0691900-0B BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
29 HK-0694900-0A BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
30 400-70386 NF BRACKET
ＮＦ ブラケット
(1)
31
#06
400-82036 FILTER BRACKET
フィルターブラケット
(1)
32 HA-0060900-00 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
33 HA-0060900-10 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
34 HX-0009600-0A GROMMET
エッジングブッシュ
(0.47)
35
#02
SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
2
36
#02
400-73842 CONDUIT_BRACKET
コンジットブラケット
1
37 400-47124 BASE CARRY ASSY
ＢＡＳＥ ＣＡＲＲＹ 組
1
38 400-47548 BASE-CARRY PCB ASSY
ＢＡＳＥ − ＣＡＲＲＹ 基板搬送組
(1)
39 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｌ ＝８
(9)
40 400-47111 FEEDER PCB ASSY
フィーダ基板組
1
41 400-47549 FEEDER PCB ASSY
フィーダ基板搬送組
(2)
42 400-63469 FEEDER PCB BASE
フィーダ基板ベース
(2)
43 400-63488 FEEDER PCB PANEL
フィーダ基板パネル
(2)
44 SL-4031091-SC SCREW M3 L=10
座金付きなべ小ねじ Ｍ ３ Ｌ ＝１０
(16)
45 400-63470 FEEDER PCB BRACKET
フィーダ＿基板＿ブラケット
(2)
46 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(8)
47 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｌ ＝８
(12)
48 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
(4)
49 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
2
50 400-47112 XY RELAY ASSY
ＸＹ ＿リレー組
1
51 400-63474 XY RELAY COVER
ＸＹ リレーカバー
(1)
52 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ ４ Ｌ ＝８
(7)
53 E1038-871-000 PLATEN LOCK CAM SCREW
プラテン ロックカム スクリュウ
(2)
54 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｌ ＝８
(8)
55 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(2)
56 SM-4040801-SC SCREW M4X0.7 L=8
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝８
(2)
57 400-47547 XY-RELAY PCB ASSY
ＸＹ リレー基板搬送組
(1)
58 400-47110 XY RELAY BRACKET
ＸＹ リレーブラケット
(1)
59 400-80003 XY_RELAY_COVER_SEAL
ＸＹ リレーカバーシール
1
60 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
2
61 400-47113 FAN_ASSY
ファン組
1
62 400-47114 VACUUM PUMP FAN ASSY
バキュームポンプファン組
(1)
63 SL-4033091-SC SCREW M3 L=30
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝３０
(4)
64 400-47757 VACUUM PUMP FAN CABLE ASM
バキュームポンプファンケーブル組
(1)
65 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(1)
66 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
(1)
67 SL-6061692-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
68 400-47105 FAN_PLATE
ファンプレート
(1)
69 400-47115 CL FAN ASSY
ＣＬ ファン組
(1)
70 SL-4033091-SC SCREW M3 L=30
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝３０
(8)
71 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(4)
72 400-47763 BASE FAN CL ASM
ベースファン ＣＬ 組
(1)
73 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(2)
74 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
(2)
75 400-47105 FAN PLATE
ファンプレート
(2)
76 400-47116 CR FAN ASSY
ＣＲ ファン組
(1)
77 SL-4033091-SC SCREW M3 L=30
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝３０
(8)
78 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(4)
79 400-47765 BASE FAN CR ASM
ベースファン ＣＲ 組
(1)
80 400-47105 FAN_PLATE
ファンプレート
(2)
81 PJ-3091200-02 QUICK PIPE JOINT MANIFOLD
ワンタッチ管継手マニホールド
(1)
82 PJ-3080600-03 Y UNION
ユニオンワイ
(1)
83 400-63481 BASE PLATE ASSY
ベースプレート組
1
84 400-47147 BASE PLATE RF-LR
ベースプレート ＲＦ − ＬＲ
(2)
85 400-47148 DUCT PLATE
ダクトプレート
(2)
86 400-47149 BASE PLATE S
ベースプレート＿ Ｓ
(2)
87 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(16)
88 SM-6122002-TN SCREW M12 L=20
六角穴ボルト Ｍ １２ Ｌ ＝２０
(8)
89 WP-1252210-SC WASHER 12.5X25.6X2.2
平座金 １２．５ Ｘ ２５．６ Ｘ ２．２
(8)
90 HX-0009600-00 GROMMET
エッジングブッシュ
(1.4)
91 400-47146 BASE PLATE LF-LR
ベースプレート ＬＦ − ＬＲ
(2)
92 HX-0055700-00 TIE MOUNT
タイマウント
18
93 SM-4061201-SC SCREW M6 L=12
なべ小ねじ Ｍ ６ Ｌ ＝１２
18
94 PJ-3041253-01 ELBOW UNION
エルボユニオン
2
95 PF-0652070-00 PRESSURE GAUGE
圧力計
1
96 PJ-3081200-01 UNION Y
ユニオンワイ
1
97 SL-6043092-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
2
98 SL-6042092-TN SCREW M4 L=20
座金付き六角穴ボルト
1
99 BT-1200801-EF TUBE
チューブ
4
100 BT-0800501-EA TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
16
101 BT-0600400-EC TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
36
102 PF-0253010-B0 REGULATOR
レギュレータ
1
103
#02
HX-0057900-00 PERFECT ROCK
パーフェクトロック
1
- 15 -
8. CAL BLOCK COMPONENTS
ＣＡＬ ブロック関係
6
10
8
11
16
15
14
13
5
12
4
7
9
36
2
18
20
22
23
25
24
27
29
30
31
25
26
32
33
17
3
21
28
19
40
42
39
35
34
1
37
38
- 16 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-46828 CAL BLOCK ASSY
ＣＡＬ ブロック組
4
2 SL-6062092-TN SCREW M6 L=20
座金付き六角穴ボルト
(2)
3 L202E-421-000 CAL PLATE
ＣＡＬ プレート
(1)
4 SM-1051452-TN PLATE SCREW
皿ねじ Ｍ ５ Ｌ ＝１４
(2)
5 PJ-3010405-05 HALF UNION
ハーフユニオン
(1)
6 L202E-521-000 CAL SIDE COVER
ＣＡＬ サイド カバー
(1)
7 SM-6030602-TN HEX SCREW M3 X 6
六角穴ボルト Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝６
(2)
8 L202E-621-000 CAL DIFFUSER
ＣＡＬ ディフューザ
(1)
9 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｌ ＝８
(2)
10 400-07376 CALBLOCK PCB ASM
ＣＡＬＢＬＯＣＫ 基板組
(1)
11 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝６
(2)
12 400-46823 NOZZLE CAL PIECE ASSY
ノズル ＣＡＬ ピース組
(1)
13 L202E-921-000 NOZZLE CAL PIECE
ノズル ＣＡＬ ピース
(1)
14 NM-6050001-SC NUT M5
六角ナット Ｍ ５ Ｘ ０．８ １種
(1)
15 L203E-021-000 NOZZLE CAL PIECE OUTER
ノズル ＣＡＬ ピース アザー
(1)
16 L203E-121-000 NOZZLE CAL PIECE OUTER SPRING
ノズル ＣＡＬ ピース スプリング
(1)
17 400-02126 CAL VACUUM SENSOR ASSY
ＣＡＬ バキュームセンサ組
(1)
18 400-46845 CAL PIECE STAY
ＣＡＬ ピースステイ
(1)
19 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
20 SM-4030401-SC SCREW M3X0.5 L=4
なべ小ねじ Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝４
(4)
21 400-46829 SV STAY
ＳＶ ステイ
(1)
22 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
23 PV-1303060-A0 SOLENOID VALVE
３ポート電磁弁
(1)
24 E3274-760-000 SILENCER
サイレンサ
(1)
25 PJ-0320390-01 CONNECTOR
ウレタンバーブ継手
(2)
26 SM-6020402-TN BOLT M2 L=4
六角穴ボルト Ｍ ２ Ｌ ＝４
(2)
27 PJ-3080600-05 IKEI UNION
異径ユニオンワイ
(1)
28 SM-6041602-TN SCREW M4 X 16
六角穴ボルト Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝１６
(1)
29 PX-5000140-00 PLUG
止め栓 φ ４
(1)
30 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(1)
31 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝６
(1)
32 PF-0100030-A0 AIR SUCTION FILTER
エア サクション フィルタ
(1)
33 SM-1030801-SC SCREW M3 L=8
皿小ねじ Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝８
(2)
34 BT-0400251-EA TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
(0.5)
35 EA-9500B01-00 CABLE BAND
束線バンド
(2)
36 400-46846 CAL_BASE
ＣＡＬ ベース
(1)
37 400-84710 CHIP_BOX_STAND
チップボックススタンド
(1)
38 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(2)
39 400-47986 CAL VACUUM SV ASM
ＣＡＬ バキューム ＳＶ 組
(1)
40 E3805-721-000 OCC SHIM B
ＯＣＣ シム Ｂ
(1)
41 E3806-721-000 OCC SHIM C
ＯＣＣ シム Ｃ
(1)
42 E2063-760-000 SHIM C
シム Ｃ
(1)