DECAN_S1_Maintenance(Chi_Ver1.0)_Resize.pdf - 第42页
DE CAN S 1 M ain te na nc e Ha n db oo k 3-1 4 Chap ter 3 每日检查 Nex t Generation, Multi - Functi onal Placer Fix Camera Cover Glass 检查及清扫 每日检查 Fix Camer a Cover Glass 检查及清扫 清除沾在 Glass 上的异物，可以防止元件识别错误。 维护工 具 超细纤维布，酒精 , (+)…
DECAN S1 Maintenance Handbook
3-13
Chapter 3
每日检查
Next Generation, Multi-Functional Placer
Mist Separator Filter 检查及更换
Step 5. 逆 时 针 方 向 转 动 、分 离 容 器 Step 6. 朝顺时针方向旋转Filter装置后更换。
Step 7. 参考 详见"3. 撤销紧急停止"(第1-6页)解除紧急停止后重新进行
作业
DECAN S1 Maintenance Handbook
3-14
Chapter 3
每日检查
Next Generation, Multi-Functional Placer
Fix Camera Cover Glass 检查及清扫
每日检查
Fix
Camera
Cover
Glass
检查及清扫
清除沾在Glass上的异物，可以防止元件识别错误。
维护工具
超细纤维布，酒精, (+)起子
措施
Step 1. 进行X Frame的后面移动。
参考详见详见"4. X Frame 后面移动"(第1-4页)使 X Frame向背面进
行移动。
Step 2. 按OP面板的'EMG'按钮停止作业后、依次按'STOP','RESET'按钮。
详细内容请参阅详见详见"2. 紧急停止"(第1-2页)
Step 3. 使用Phillips screwdriver分离Screw
(所需时间: 10分 / No. D-6)
DECAN S1 Maintenance Handbook
3-15
Chapter 3
每日检查
Next Generation, Multi-Functional Placer
Fix Camera Cover Glass 检查及清扫
Step 4. 清扫 Cover Glass
① 在超细纤维布沾上酒精
② 擦拭
Cover
Glass
。