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每月检验 Chap ter 5 Nex t Generation, Multi - Functi onal Placer DE CAN S 1 M ain te na nc e Ha n db oo k 5 -7 Control Rack Cooling Fan 检查及清扫 维护工 具 扳手、真空清扫器、十字形（+）螺丝刀 措施 Step 1. 参 考 详见 "1. 切断电 源步 骤 " ( 第1- 1 页)关 闭设…
每月检验
Chapter 5
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
5-6
Y Axis Linear Motor,Magnet 清扫
每月检验
Y
Axis
Linear
Motor,Magnet
清扫
维护工具
超细纱布
措施
Step 1. 参 考详见"1. 切断电源步骤"(第1-1页)关闭设备的电源
Step 2. 利用超细纱布清扫Y轴Linear Motor及Magnet。
注 意
检查Linear Motor下端与Magnet侧面是否有杂质或芯片，如果有则必
须清除。
注 意
清扫时，不要把磁铁附在Magnet或Motor上。
注 意
Linear Motor的磁力导致心脏起搏器故障时可能会造成人员伤亡，请不
要靠近设备附近。
Step 3. 参考 详见"3. 撤销紧急停止"(第1-6页)解除紧急停止后重新 进行
作业
(所需时间: 15分 / No. M-5)
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Chapter 5
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
5-7
Control Rack Cooling Fan 检查及清扫
维护工具
扳手、真空清扫器、十字形（+）螺丝刀
措施
Step 1. 参 考详见"1. 切断电源步骤"(第1-1页)关闭设备的电源
Step 2. 利用十字(+)起子拆下设备正面的Cover。
Control
Rack
Cooling
Fan
检查及清扫
Step 3. 利用吸尘器清扫Control Rack Assembly内部的风 扇(Fan)
(所需时间: 10分 / No. M-6)
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Chapter 5
Next Generation, Multi-Functional Placer
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Control Rack Cooling Fan 检查及清扫
每月检验
Step 4. 清扫后打开总开关。
如果有异常噪音及运行异常则重新关闭设备的主电源后更换冷却扇
注 意
更换冷却扇伴随危险、请与本公司C/S公司(STS)或当地代理店(Local
Agent)咨询后采取措施
注 意
打开设备主电源时冷却扇启动、可能手受到伤、误动电缆等可能会触
电因此操作时需要特别注意