DECAN_S1_Maintenance(Chi_Ver1.0)_Resize.pdf - 第49页
每周检查 Chap ter 4 Nex t Generation, Multi - Functi onal Placer DE CAN S 1 M ain te na nc e Ha n db oo k 4-3 Solenoid Valve的检查 措施 Step 1. 在 ANC 上插入 CN 0 4 0 吸嘴 Step 2. 设 备 起 动 后 、把 ANC 的 CN 0 4 0 吸嘴安装到贴装头 Step 3. 选择 MMI 的 &…
每周检查
Chapter 4
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
4-2
Head Mirror清扫
每周检查
维护工具
空气喷射器,酒精,超细纤维布块
措施
Step 1. 参 考详见详见"3. X-Frame 前面移动"( 第 1 - 3 页 ) 、进 行 X Frame
的前面移动。
Step 2. 按OP面板的'EMG'按钮停止作业后、依次按'STOP','RESET'按钮。
详细内容请参阅详见详见"2. 紧急停止"(第1-2页)
Step 3. 用空气喷射器清扫Mirror的灰尘。
Step 4. 如果没有完全消除杂物时、在干净的布沾少量的酒精后进行擦拭
注 意
如果用力擦拭或用不干净的布块擦拭，有可能损坏Mirror表面的涂层。
涂层损坏时，请咨询 C/S公司（STS）或当地代理商。
Step 5. 参考 详见"3. 撤销紧急停止"(第1-6页)解除紧急停止后重新进行
作业
Head
Mirror
清扫
(所需时间: 5分 / No. W-2)
每周检查
Chapter 4
Next Generation, Multi-Functional Placer
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4-3
Solenoid Valve的检查
措施
Step 1. 在ANC上插入 CN040吸嘴
Step 2. 设 备 起 动 后 、把 ANC的CN040吸嘴安装到贴装头
Step 3. 选择MMI的"Diagnosis"菜 单 后 、选 择 "Vacuum"子菜单。
2
1
Solenoid
Valve
的检查
(所需时间: 20分 / No. W-3)
每周检查
Chapter 4
Next Generation, Multi-Functional Placer
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4-4
Solenoid Valve的检查
每周检查
Step 4. 单击<Valve Check>键后、在"Valve Check"对话窗口的<Try>组合
框选择Vacuum ON/OFF次 数 、然 后 单 击 < Test>键。
3
5
4
Step 5. 检 查 结 果 为 异 常 时 、 联 系 本 公 司 的 STS或当地代 理店(Local Agent)
后更换该电磁阀(Solenoid Valve)。
有关电磁阀的检查及异常与否的判断请参阅Administrator's Guide
的"15.4 Vacuum"。
注 意
真空过滤器以每周进行检查并且至少在6个月内更换、如此才能正常地
形成可以吸附(Pickup)元器件的真空。
电磁阀是消耗品、为了让电磁阀稳定地发挥其功能、建议每两年更换一
次电磁阀。