2OM-1150-001_w.pdf - 第117页
4.2 4.2 4.2 4.2 4.2 “ P.E.C.Recog.Camera P.E.C.Recog.Camera P.E.C.Recog.Camera P.E.C.Recog.Camera P.E.C.Recog.Camera ” Tab Tab Tab Tab Tab 设定基板识别 Camera 的 Offset 量、倍率,以及基板识别标记的明暗、 浓淡差异。 • • • • • 页面显示 页面显示 页面显示 页面显示 页面显示…

P.C.B.Chuck HeightP.C.B.Chuck Height
P.C.B.Chuck HeightP.C.B.Chuck Height
P.C.B.Chuck Height : 针对在原点的基板Back-Up台和基板下表面
间Z方向上的设定距离,设定Offset量。
Fig.3D13-9Fig.3D13-9
Fig.3D13-9Fig.3D13-9
Fig.3D13-9
*4
Two-Camera Offset(CameraTwo-Camera Offset(Camera
Two-Camera Offset(CameraTwo-Camera Offset(Camera
Two-Camera Offset(Camera
间间
间间
间
Offset)Offset)
Offset)Offset)
Offset)
针对基板识别Camera和屏幕识别Camera相对位置的偏离,就
设定的各轴值,输入Offset量。
Fig.3D13-10Fig.3D13-10
Fig.3D13-10Fig.3D13-10
Fig.3D13-10
0008-003 1章4-23 AFQ01JDTP
4.14.1
4.14.1
4.1
“
Machine OffsetMachine Offset
Machine OffsetMachine Offset
Machine Offset”
TabTab
TabTab
Tab
基板Chuck
Backup台
原点
基板识别Camera中心
屏幕识别Camera中心

4.24.2
4.24.2
4.2
“
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
设定基板识别Camera的Offset量、倍率,以及基板识别标记的明暗、
浓淡差异。
••
••
•
页面显示页面显示
页面显示页面显示
页面显示
按下 “OFFSET DATA”子菜单界面的[P.E.C.Recog.Camera(基板识
别Camera)]Tab键,显示如下Tab页面。
Fig.3D14Fig.3D14
Fig.3D14Fig.3D14
Fig.3D14
“
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
页面页面
页面页面
页面
4.24.2
4.24.2
4.2
“
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
0008-003 1章4-24 AFQ01JDTP

••
••
•
页面构成页面构成
页面构成页面构成
页面构成
*1
Camera Offset(Camera Offset(
Camera Offset(Camera Offset(
Camera Offset(
基板识别基板识别
基板识别基板识别
基板识别
Camera Offset)Camera Offset)
Camera Offset)Camera Offset)
Camera Offset)
针对基板识别Camera的中心位置到台斜槽的中心位置的各轴
距离以及角度差异,输入设定值的变更值。
Fig.3D14-1Fig.3D14-1
Fig.3D14-1Fig.3D14-1
Fig.3D14-1
显示 “Tenkey”界面,输入Offset量。
*2
Camera Magnification(Camera Magnification(
Camera Magnification(Camera Magnification(
Camera Magnification(
基板识别基板识别
基板识别基板识别
基板识别
CameraCamera
CameraCamera
Camera
倍率倍率
倍率倍率
倍率
))
))
)
设定基板识别Camera的倍率。
显示 “Tenkey”界面,输入X 和Y 方向每1 Pixel距离
(窜困: mm)。
*3
Recog.Mark(Recog.Mark(
Recog.Mark(Recog.Mark(
Recog.Mark(
基板识别标记基板识别标记
基板识别标记基板识别标记
基板识别标记
))
))
)
设定基板识别标记的明暗和浓淡差异(Contrast)。
显示 “Tenkey”界面,输入 “Gain”值和 “Level”值。
GainGain
GainGain
Gain : 浓淡差异增幅率。值越大,代表差异越大。
LevelLevel
LevelLevel
Level : 明暗增幅率。值越大,界面越明亮。
0008-003 1章4-25 AFQ01JDTP
4.24.2
4.24.2
4.2
“
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
基板识别Camera
基板原点
台原点
台中心