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Fig.5A 11 Fig.5A 11 Fig.5A 11 Fig.5A 11 Fig.5A 11 气源气源气源气源气源 0008-003 3 章1 - 1 2 AFU0 1 EINP 5. 5. 5. 5. 5. 每周保养·维修每周保养·维修每周保养·维修每周保养·维修每周保养·维修排水管清扫排水管排水按如下顺序进行。 ( 1 ) 在排水管下放置容器等。 (2) 将各空气滤网的外箱下盖顺着箭头 A 方向慢慢转动…

5. 5.

每周保养每周保养

每周保养·

维修维修

维修

DE1: DAPHNE EPONEX GREASE No.1

NM1: NEW MOLYNOC GREASE No.1

Table 5A5Table 5A5

Table 5A5

气源排水管 5A11 清扫容器等

L传送带部 Interlock

5A11-1

清扫 - 吸尘器

R传送带部 Interlock

5A11-2

清扫 - 吸尘器

Bloer Filter

5A11-3

清扫 - 空气吸尘器

Fig.5A9 Fig.5A9

Fig.5A9

基板基板

基板

ChuckChuck

Chuck

部部

部

0008-003 3章1-11 AFU01EINP

5.5.

每周保养·维修每周保养·维修

每周保养·维修

图号图号

图号

Back-Up台的上表面及

Pin Hole部

清扫

吸尘器清除Solder Paste或

灰尘。

保养保养

保养

··

维修内容维修内容

维修内容

润滑油润滑油

润滑油

清扫用具、清扫用具、

清扫用具、

吸嘴等吸嘴等

吸嘴等

保养·维修单位保养·维修单位

保养·维修单位

基板Chuck部

Backup台的上表面及

Pin Hole部

清扫

吸尘器

5A9

基板识别部基板Stopper

5A10

清扫

DE1油布

基板Warpage

Holder

(Roller外周)

5A10 清扫 Rag

Top

Fig.5A1 0 Fig.5A1 0

Fig.5A1 0

基板识别部基板识别部

基板识别部

基板 Stopper

清扫

油布清扫。

注注

注

: 注意不要残留线头。

基板 Warpage Top Holder(Roller外周)

清扫

Roller外周面粘有垃圾时，用柔

软的布擦去。

名名

名

称称

称

核对核对

核对

Fig.5A11 Fig.5A11

Fig.5A11

气源气源

气源

0008-003 3章1-12 AFU01EINP

5.5.

每周保养·维修每周保养·维修

每周保养·维修

排水管

清扫

排水管排水按如下顺序进行。

( 1 ) 在排水管下放置容器等。

(2) 将各空气滤网的外箱下盖顺着箭头A 方向

慢慢转动。

注注

注

: 注意如果将盖子转过了头，会导致被

污染水分等急流喷出。

Cap

Fig.5A11- 1 LFig.5A11- 1 L

Fig.5A11- 1 L

传送带部传送带部

传送带部

Fig.5A11-2 RFig.5A11-2 R

Fig.5A11-2 R

传送带部传送带部

传送带部

0008-001 3章1-12-1 AFU01EINP

5.5.

每周保养·维修每周保养·维修

每周保养·维修

Interlock传感器

清扫

吸尘器清除灰尘。

Interlock传感器

清扫

吸尘器清除灰尘。