2OM-1150-001_w.pdf - 第118页
• • • • • 页面构成 页面构成 页面构成 页面构成 页面构成 *1 Camera Offset( Camera Offset( Camera Offset( Camera Offset( Camera Offset( 基板识别 基板识别 基板识别 基板识别 基板识别 Camera Offset) Camera Offset) Camera Offset) Camera Offset) Camera Offset) 针对基板识别 …

4.24.2
4.24.2
4.2
“
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
设定基板识别Camera的Offset量、倍率,以及基板识别标记的明暗、
浓淡差异。
••
••
•
页面显示页面显示
页面显示页面显示
页面显示
按下 “OFFSET DATA”子菜单界面的[P.E.C.Recog.Camera(基板识
别Camera)]Tab键,显示如下Tab页面。
Fig.3D14Fig.3D14
Fig.3D14Fig.3D14
Fig.3D14
“
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
页面页面
页面页面
页面
4.24.2
4.24.2
4.2
“
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
0008-003 1章4-24 AFQ01JDTP

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•
页面构成页面构成
页面构成页面构成
页面构成
*1
Camera Offset(Camera Offset(
Camera Offset(Camera Offset(
Camera Offset(
基板识别基板识别
基板识别基板识别
基板识别
Camera Offset)Camera Offset)
Camera Offset)Camera Offset)
Camera Offset)
针对基板识别Camera的中心位置到台斜槽的中心位置的各轴
距离以及角度差异,输入设定值的变更值。
Fig.3D14-1Fig.3D14-1
Fig.3D14-1Fig.3D14-1
Fig.3D14-1
显示 “Tenkey”界面,输入Offset量。
*2
Camera Magnification(Camera Magnification(
Camera Magnification(Camera Magnification(
Camera Magnification(
基板识别基板识别
基板识别基板识别
基板识别
CameraCamera
CameraCamera
Camera
倍率倍率
倍率倍率
倍率
))
))
)
设定基板识别Camera的倍率。
显示 “Tenkey”界面,输入X 和Y 方向每1 Pixel距离
(窜困: mm)。
*3
Recog.Mark(Recog.Mark(
Recog.Mark(Recog.Mark(
Recog.Mark(
基板识别标记基板识别标记
基板识别标记基板识别标记
基板识别标记
))
))
)
设定基板识别标记的明暗和浓淡差异(Contrast)。
显示 “Tenkey”界面,输入 “Gain”值和 “Level”值。
GainGain
GainGain
Gain : 浓淡差异增幅率。值越大,代表差异越大。
LevelLevel
LevelLevel
Level : 明暗增幅率。值越大,界面越明亮。
0008-003 1章4-25 AFQ01JDTP
4.24.2
4.24.2
4.2
“
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.CameraP.E.C.Recog.Camera
P.E.C.Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
基板识别Camera
基板原点
台原点
台中心

4.34.3
4.34.3
4.3
“
Screen Recog.CameraScreen Recog.Camera
Screen Recog.CameraScreen Recog.Camera
Screen Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
设定屏幕识别Camera的Offset量、倍率,以及屏幕识别标记的明暗、
浓淡差异。
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页面显示页面显示
页面显示页面显示
页面显示
按下 “OFFSET DATA”子菜单界面的[Screen Recog.Camera(屏幕
识别Camera)]Tab键,显示如下Tab页面。
Fig.3D15Fig.3D15
Fig.3D15Fig.3D15
Fig.3D15
“
Screen Recog.CameraScreen Recog.Camera
Screen Recog.CameraScreen Recog.Camera
Screen Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
页面页面
页面页面
页面
4.34.3
4.34.3
4.3
“
Screen Recog.CameraScreen Recog.Camera
Screen Recog.CameraScreen Recog.Camera
Screen Recog.Camera”
TabTab
TabTab
Tab
0008-003 1章4-26 AFQ01JDTP