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Fig.5A 1 2 Fig.5A 1 2 Fig.5A 1 2 Fig.5A 1 2 Fig.5A 1 2 台部台部台部台部台部 Fig.5A 1 3 Fig.5A 1 3 Fig.5A 1 3 Fig.5A 1 3 Fig.5A 1 3 台部台部台部台部台部 6. 6. 6. 6. 6. 每月保养·维修每月保养·维修每月保养·维修每月保养·维修每月保养·维修 0008-003 3 章1 - 1 4 AFU0 …

6. 6.

每月保养·维修每月保养·维修

每月保养·维修

DE1: DAPHNE EPONEX GREASE No.1

NM1: NEW MOLYNOC GREASE No.1

Table 5A6Table 5A6

Table 5A6

保养保养

保养

··

维修单位维修单位

维修单位

名名

名

称称

称

台部 X轴 Linear Guide 5A12 清扫 DE1油布

Z轴 Guide Bushing 5A12 清扫 DE1油布

θ轴 Linear Guide 5A13 清扫 DE1油布

基板Chuck部 Chute宽幅变更用 5A14 清扫 - 布

Linear Guide

Backup台 5A14 清扫 - 油布

Z轴 Guide

Bushing

基板Clamp用 5A14 清扫 - 油布

Linear Guide

-1

基板识别部 X轴 Linear Guide 5A15 清扫 - 油布

Y轴 Linear Guide 5A16 清扫 DE1油布

Squeegee Y轴 Linear Guide 5A17 清扫 DE1

安装头部 X轴 Linear Guide 5A18 清扫 DE1油布

Squeegee上下用 5A19 清扫 DE1油布

Guide Bushing

Screen Holder Screen Y轴 5A20 清扫 DE1油布

Linear Guide

L 传送带传送带宽幅变更用 5A21清扫 DE1油布

Spline轴

传送带宽幅变更用 5A21清扫 DE1油布

Ball Screw

传送带宽幅变更用 5A21清扫 DE1油布

Guide Bushing

R 传送带传送带宽幅变更用 5A22 清扫 DE1油布

Spline轴

传送带宽幅变更用 5A22 清扫 DE1油布

Ball Screw

传送带宽幅变更用 5A22 清扫 DE1油布

Guide Bushing

6.6.

每月保养·维修每月保养·维修

每月保养·维修

0008-003 3章1-13 AFU01EINP

保养保养

保养

··

维修内容维修内容

维修内容

润滑油润滑油

润滑油

清扫用具、清扫用具、

清扫用具、

吸嘴等吸嘴等

吸嘴等

图号图号

图号

核对核对

核对

Fig.5A12 Fig.5A12

Fig.5A12

台部台部

台部

Fig.5A13 Fig.5A13

Fig.5A13

台部台部

台部

6.6.

每月保养·维修每月保养·维修

每月保养·维修

0008-003 3章1-14 AFU01EINP

X轴 Linear Guide

清扫

油布清扫。

注注

注

: :

: 注意不要残留线头。

Z轴 Guide Bushing

清扫

油布清扫。

注注

注

: :

: 注意不要残留线头。

油布清扫。

注注

注

: :

: 注意不要残留线头。

θ轴 Linear Guide

清扫

Fig.5A14 Fig.5A14

Fig.5A14

基板基板

基板

ChuckChuck

Chuck

部部

部

Fig.5A14-1 Chuck Fig.5A14-1 Chuck

Fig.5A14-1 Chuck

部部

部

6.6.

每月保养·维修每月保养·维修

每月保养·维修

0008-003 3章1-15 AFU01EINP

Backup台Z轴

Guide Bushing

清扫

油布清扫。

注注

注

: :

: 注意不要残留线头。

油布清扫。

注注

注

: :

: 注意不要残留线头。

Chute宽幅变更用

Linear Guide

清扫

油布清扫。

注注

注

: :

: 注意不要残留线头。

基板Clamp用Linear Guide

清扫