2OM-1150-001_w.pdf - 第81页

2.4 2.4 2.4 2.4 2.4 “ Sub-System Error Sub-System Error Sub-System Error Sub-System Error Sub-System Error ” Tab Tab Tab Tab Tab 显示本装置发生异常的有关单位别数据。 • • • • • 页面显示 页面显示 页面显示 页面显示 页面显示 “ MANAGE.DATA1( 装置操作信息 1) ” 子菜单界面的 [S…

100%1 / 317
2.32.3
2.32.3
2.3
“
Recog.ErrorRecog.Error
Recog.ErrorRecog.Error
Recog.Error”
TabTab
TabTab
Tab
显示本装置发生识别异常的有关数据。
••
••
•
页面显示页面显示
页面显示页面显示
页面显示
按下
“
MANAGE.DATA1(装置操作信息 1)
”
子菜单界面的[Recog.Error
( 识别异常)]Tab键，显示如下Tab页面。
Fig.3C6Fig.3C6
Fig.3C6Fig.3C6
Fig.3C6
“
Recog.ErrorRecog.Error
Recog.ErrorRecog.Error
Recog.Error”
TabTab
TabTab
Tab
页面页面
页面页面
页面
••
••
•
页面构成页面构成
页面构成页面构成
页面构成
*1
#1#1
#1#1
#1
ERROR(/Total P.E.C.Error)(ERROR(/Total P.E.C.Error)(
ERROR(/Total P.E.C.Error)(ERROR(/Total P.E.C.Error)(
ERROR(/Total P.E.C.Error)(
第第
第第
第
11
11
1
点异常点异常
点异常点异常
点异常
(/(/
(/(/
(/
基板识别基板识别
基板识别基板识别
基板识别
异常合计异常合计
异常合计异常合计
异常合计
))))
))))
))
显示基板识别第1 点的异常合计次数和相对整个基板识别
异常合计次数的比率。
*2
#2#2
#2#2
#2
ERROR(/Total P.E.C.Error)(ERROR(/Total P.E.C.Error)(
ERROR(/Total P.E.C.Error)(ERROR(/Total P.E.C.Error)(
ERROR(/Total P.E.C.Error)(
第第
第第
第
22
22
2
点异常点异常
点异常点异常
点异常
(/(/
(/(/
(/
基板识别基板识别
基板识别基板识别
基板识别
异常合计异常合计
异常合计异常合计
异常合计
))))
))))
))
显示基板识别第2 点的异常合计次数和相对整个基板识别
异常合计次数的比率。
*3
#3#3
#3#3
#3
ERROR(/Total P.E.C.Error)(ERROR(/Total P.E.C.Error)(
ERROR(/Total P.E.C.Error)(ERROR(/Total P.E.C.Error)(
ERROR(/Total P.E.C.Error)(
第第
第第
第
33
33
3
点异常点异常
点异常点异常
点异常
(/(/
(/(/
(/
基板识别基板识别
基板识别基板识别
基板识别
异常合计异常合计
异常合计异常合计
异常合计
))))
))))
))
显示基板识别第3 点的异常合计次数和相对整个基板识别
异常合计次数的比率。
*4
Total P.E.C.Recog.Error(Total P.E.C.Recog.Error(
Total P.E.C.Recog.Error(Total P.E.C.Recog.Error(
Total P.E.C.Recog.Error(
基板识别异常合计基板识别异常合计
基板识别异常合计基板识别异常合计
基板识别异常合计
))
))
)
显示基板识别处理中检出异常的合计次数。
显示为整体基板识别异常次数和分割基板识别异常次数
的合计。
2.3 2.3
2.3 2.3
2.3 “
Recog.ErrorRecog.Error
Recog.ErrorRecog.Error
Recog.Error”
TabTab
TabTab
Tab
0008-003 1章3-11 AFQ01JDTP
2.42.4
2.42.4
2.4
“
Sub-System ErrorSub-System Error
Sub-System ErrorSub-System Error
Sub-System Error”
TabTab
TabTab
Tab
显示本装置发生异常的有关单位别数据。
••
••
•
页面显示页面显示
页面显示页面显示
页面显示
“
MANAGE.DATA1(装置操作信息 1)
”
子菜单界面的[Sub-System Error
(异常单位别信息)]Tab键，显示如下Tab页面。
Fig.3C7Fig.3C7
Fig.3C7Fig.3C7
Fig.3C7
“
Sub-System ErrorSub-System Error
Sub-System ErrorSub-System Error
Sub-System Error
”
TabTab
TabTab
Tab
页面页面
页面页面
页面
••
••
•
页面构成页面构成
页面构成页面构成
页面构成
*1
Unit Selection Buttons(Unit Selection Buttons(
Unit Selection Buttons(Unit Selection Buttons(
Unit Selection Buttons(
单位选择按钮单位选择按钮
单位选择按钮单位选择按钮
单位选择按钮
))
))
)
选择装置单位的按钮。按下该按钮，*3中的异常内容显示改变。
*2
Total Numbers of Errors on Each Indivisual Units(Total Numbers of Errors on Each Indivisual Units(
Total Numbers of Errors on Each Indivisual Units(Total Numbers of Errors on Each Indivisual Units(
Total Numbers of Errors on Each Indivisual Units(
单位别单位别
单位别单位别
单位别
异常发生次数合计异常发生次数合计
异常发生次数合计异常发生次数合计
异常发生次数合计
))
))
)
按单位别显示发生异常次数的合计。
*3
Contens of Error(Contens of Error(
Contens of Error(Contens of Error(
Contens of Error(
异常内容异常内容
异常内容异常内容
异常内容
))
))
)
按单位别显示发生异常的内容。
*4
Total Numbers of Error(Total Numbers of Error(
Total Numbers of Error(Total Numbers of Error(
Total Numbers of Error(
异常发生次数合计异常发生次数合计
异常发生次数合计异常发生次数合计
异常发生次数合计
))
))
)
按单位别显示发生异常的内容别发生次数。
2.4 2.4
2.4 2.4
2.4 “
Sub-System ErrorSub-System Error
Sub-System ErrorSub-System Error
Sub-System Error”
TabTab
TabTab
Tab
0008-003 1章3-12 AFQ01JDTP
2.52.5
2.52.5
2.5
“
Info.ClearInfo.Clear
Info.ClearInfo.Clear
Info.Clear”
TabTab
TabTab
Tab
清除已保存的装置操作信息。
••
••
•
页面显示页面显示
页面显示页面显示
页面显示
按下
“
MANAGE.DATA1(装置操作信息 1)
”
子菜单界面的[Info.Clear
( 清除信息)]Tab键，显示如下Tab页面。
Fig.3C8Fig.3C8
Fig.3C8Fig.3C8
Fig.3C8
“
Info.ClearInfo.Clear
Info.ClearInfo.Clear
Info.Clear”
TabTab
TabTab
Tab
页面页面
页面页面
页面
••
••
•
页面构成页面构成
页面构成页面构成
页面构成
*1
[Management Data 1 Clear]([[Management Data 1 Clear]([
[Management Data 1 Clear]([[Management Data 1 Clear]([
[Management Data 1 Clear]([
装置操作信息装置操作信息
装置操作信息装置操作信息
装置操作信息
11
11
1
清除清除
清除清除
清除
]]
]]
]
按钮按钮
按钮按钮
按钮
))
))
)
按下该按钮，显示如下警告。按[OK]，清除装置操作信息1 的
内容，并且将日期·时间更新到该次清除。
Fig.3C9Fig.3C9
Fig.3C9Fig.3C9
Fig.3C9
2.5 2.5
2.5 2.5
2.5 “
Info.ClearInfo.Clear
Info.ClearInfo.Clear
Info.Clear”
TabTab
TabTab
Tab
0004-002 1章3-13 AFQ01JDTP