SM431说明书.pdf - 第83页
Calibration 3-21 3.1.6. X-XY Compensation 为了补偿 X 轴移动时发生的 XY 误差而执行。如果 Thermal Mapping 及 Gantry Mapping 已被激活时，为了执行 X-XY Compensation 强制性 的让 Mapping 处于非激活 (Disable) 状态。 注 意 X-XY Compensation 在 设备出厂之前在工厂执行。为了 执行此 过程必须需要专用校正 …
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12. 对所选Station的Fiducial Mark完成示教，则用同样的方法对其他Fiducial Mark执
行示教。
13. 2到12号的过程各Station要单独执行，请按如下的顺序执行：
ST-Gate1→ ST1F-Work → ST1R-Work → ST-Gate2
Calibration
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3.1.6. X-XY Compensation
为了补偿X轴移动时发生的XY误差而执行。如果Thermal Mapping及 Gantry
Mapping已被激活时，为了执行X-XY Compensation强制性的让Mapping处于非激活
(Disable)状态。
注 意
X-XY Compensation在设备出厂之前在工厂执行。为了执行此
过程必须需要专用校正 Tool。
一般情况下此过程为进行Skip后，请执行后续过程的校正。
Mode 选项 按钮
选择执行相应过程的模式。
<校正> 选项 按钮
以校正模式执行X-XY Compensation后反应其结果值。
<测量> 选项 按钮
以测定模式执行X-XY Compensation后不反应结果值。为测定Y轴故障时选
择。
<双悬臂> 组合框
臂1: ST1F-Work中用 校正 Tool进行校正时，
臂2: ST1R-Work中用 校正 Tool进行校正时，
只在SM411对GANTRY2执行校正。
<坐标轴> 组合框
选择要执行补偿的轴。只对X轴可进行补偿。
<亮度调整> 按钮
识别校正 Tool的Fiducial Mark时，为了清楚看到Mark，调节照明时使用。
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<移动 / 得到数据> 按钮
示教校正 Tool的Fiducial Mark时使用
<开始X / 开始Y> 编辑框
输入校正 Tool的0号Fiducial Mark的坐标。选择此编辑框后，用示教框把基准
相机移动到相应位置后正确示教相应 Mark后点击<Get>按钮输入此处的坐标值
<现在温度> 编辑框
输入执行校正时点的当前温度。
<移动轨道> 按钮
在<传送带宽度>编辑框输入输送机宽度后点击此按钮调节输送机宽度。
<导入...> 按钮
校正用Scale文件进行Import时使用。
<开始> 按钮
正确示教0号Fiducial Mark后，开始校正时使用。
<完成> 按钮
完成校正后，终止作业时使用。
<打印文件…> 按钮
完成校正后，把结果值以Text文件形式输出时使用。
<更新> 按钮
适用校正的补偿值。