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程序手册 13.2 支撑销配置数据的编制功能 Page 13-38 EJS9AC-MB-13P-19 NPM-TT NPM-TT2 * 可配置领域，是指支撑 销中心的范围。 * 当基板输送方向相反时 ，配置区域即为左右反转。 ●基板尺寸 : P C 尺寸 ( 双轨模式 ) 504 21 6 轨道 2 轨道 1 基板外形 不可配置销的范围 基板外形 可配置区域 基准 基准 21 21 21 ●基板尺寸 : P C …
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
EJS9AC-MB-13P-19 Page 13-37
③支撑销的可配置区域
支撑销受设备以及轨道的影响，可配置到基板上的区域有所不同。
在下面，以基板搬送方向为从左向右时的可配置区域为例进行说明。
n
支撑销的可配置区域
(
单位
: mm )
机种
双轨
单轨
NPM-DX
NPM-D
NPM-D2
NPM-D3
*
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
*
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
315
344
21
6
21
296
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
21 21
344
21
6
轨道
2
轨道
1
21
不可配置销的范围
可配置区域
基板外形
基准
基准
21 21
344
(
长规格
)
21
6
轨道
2
轨道
1
21
不可配置销的范围
可配置区域
基板外形
基准
基准
254
(
短规格
)
不可配置销的范围
315
21
6
21
296
基板外形
可配置区域
基准
344
(
长规格
)
254
(
短规格
)
不可配置销的范围
315
21
6
21
296
基板外形
可配置区域
基准
350(
长规格
)
275(
短规格
)
21 21
350(
长规格
)
21
6
轨道
2
轨道
1
21
不可配置销的范围
可配置区域
基板外形
基准
基准
275(
短规格
)
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
Page 13-38 EJS9AC-MB-13P-19
NPM-TT
NPM-TT2
*
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
*
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
●基板尺寸 : PC 尺寸 (双轨模式)
504
21
6
轨道
2
轨道
1
基板外形
不可配置销的范围
基板外形
可配置区域
基准
基准
21
21
21
●基板尺寸 : PC 尺寸 (单轨模式)
504
21
6
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
21
296
315
315
504
21
6
21
296
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
不可配置销的范围
21 21
504
21
6
轨道
2
轨道
1
21
可配置区域
基板外形
基准
基准
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
EJS9AC-MB-13P-19 Page 13-39
NPM-TT2
*
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
*
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
●基板尺寸 : M 尺寸 (双轨模式)
504
21
6
轨道
2
轨道
1
基板外形
不可配置销的范围
基板外形
可配置区域
基准
基准
21
21
21
●基板尺寸 : M 尺寸 (单轨模式)
504
21
6
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
21
238.5
257.5