DGS-程序手册_04BFC.pdf - 第1449页
程序手册 13.2 支撑销配置数据的编制功能 EJS9AC-MB-13P-19 Page 13 -39 NPM-TT2 * 可配置领域，是指支撑销中心的范围 。 * 当基板输送方向相反时，配置区域即 为 左右反转。 ●基板尺寸 : M 尺寸 ( 双轨模式 ) 504 21 6 轨道 2 轨道 1 基板外形 不可配置销的范围 基板外形 可配置区域 基准 基准 21 21 21 ●基板尺寸 : M 尺寸 ( 单轨模式…
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
Page 13-38 EJS9AC-MB-13P-19
NPM-TT
NPM-TT2
*
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
*
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
●基板尺寸 : PC 尺寸 (双轨模式)
504
21
6
轨道
2
轨道
1
基板外形
不可配置销的范围
基板外形
可配置区域
基准
基准
21
21
21
●基板尺寸 : PC 尺寸 (单轨模式)
504
21
6
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
21
296
315
315
504
21
6
21
296
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
不可配置销的范围
21 21
504
21
6
轨道
2
轨道
1
21
可配置区域
基板外形
基准
基准
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
EJS9AC-MB-13P-19 Page 13-39
NPM-TT2
*
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
*
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
●基板尺寸 : M 尺寸 (双轨模式)
504
21
6
轨道
2
轨道
1
基板外形
不可配置销的范围
基板外形
可配置区域
基准
基准
21
21
21
●基板尺寸 : M 尺寸 (单轨模式)
504
21
6
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
21
238.5
257.5
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
Page 13-40 EJS9AC-MB-13P-19
NPM-W
NPM-W2
*
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
*
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
286
735.5
32.5
14.5
32.5
264
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
335.5
414.5
单传送带
双传送带
21 21
744
21
6
21
不可配置销的范围
可配置区域
基板外形
基准
基准
轨道
1
轨道
2
344
406
双轨模式时
268.5
744
21
6
21
248.5
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
334
406
单轨模式时