M6e_ServiceManual_j.pdf - 第31页
2. 点検 2-3 ANC ・タワーの内外に不要物のないことを確認する。 ノズル ・汚れや変形等があれば手入れや交換を行なう。 ) 3.機械部、ノズル フィーダバンク ・フィーダバンクの上を清掃する。 ・フィーダバンク上のフィーダが浮いていないことを確認す る。（ヘッド破壊の原因となるので十分に注意すること。） MX-20 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。 MXR-20 (オプション) ・パレット上に不要物のな…
2.点検
2-2
毎日の点検
目視点検
マウンタの電源(Main スイッチと Servo スイッチ)を投入する前に行なってください。
【NOTE】 供給元電源とエアコンプレッサはオン状態で行なってください。
項目 内容
屋内温度と湿度 ・温度と湿度の確認をする。
・温度 精度保証 23±2℃
機能保証 ＋5℃～＋40 度
(24 時間を超える平均気温が 35℃以下の範囲とする)
・湿度 45%～60%(結露無きこと)
室内の環境 ・塵、ほこりが多い場合はエアーフィルタの汚れを点検する。
・腐食性ガスによる錆が目立つときは、排気口、リフロー炉、
洗浄器を点検する。
供給エアー ・フィルタレギュレータの圧力は 0.49MPa(5kgf/c ㎡)である
か確認する。
・ドレインに水があれば抜きとる。水があればドライエアの温
度調整を行ない水のたまりを防ぐ。油分が含まれていれば
原因を調査する。
部品捨てトイ (前・後) ・捨てトイの向きが正しいことを確認する。
・捨てトイの横端面がテープガイド (ステーション番号のシー
ルが貼ってあるプレート) の端面と合っていることを確認す
る。
・落下した電子部品等により、捨てトイが浮き上がっていない
ことを確認する。
コンベア ・装置間でコンベアの幅が合っていることを確認する。
・コンベア内に物がないことを確認する。
ヘッド移動範囲 ・ヘッド移動範囲内に不要物等が置かれていない事を確認
する。
スキャンカメラ ・スキャンカメラのミラーとレンズに傷や汚れ等のないことを確
認する。汚れている場合は清掃する。
ミラーに結露、ほこりが付着すると照明光の反射率が低下
するため照明データを明るく変更することになり、かえって
認識率を低下させることになります。これを防ぐために日々
の清掃を心掛けてください。
)
3.機械部、カメラ
固定カメラ ・カメラ上のレンズ又はレンズフィルタに部品等の落下物や汚
れのないことを確認する。必要に応じて清掃を行なう。
)
3.機械部、カメラ
2.点検
2-3
ANC ・タワーの内外に不要物のないことを確認する。
ノズル ・汚れや変形等があれば手入れや交換を行なう。
)
3.機械部、ノズル
フィーダバンク ・フィーダバンクの上を清掃する。
・フィーダバンク上のフィーダが浮いていないことを確認す
る。（ヘッド破壊の原因となるので十分に注意すること。）
MX-20 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
MXR-20 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
MX-ST2 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
入出力端子盤 ・コネクタ、エアーホースの接続を確認する。
2.点検
2-4
手動動作による点検
マウンタの電源（Main スイッチと Servo スイッチ）を投入後に行なってください。
マウンタの状態および運転動作が正常でない場合、エラーメッセージが表示されます。
項目 内容
Main スイッチ
・システムを起動し、メニュー画面の表示が正常であるかを確
認する。
Servo スイッチ
・押したら点灯することを確認する。点灯しなければシステム
を終了し、再度立ち上げてみる。
EMERGENCY STOP
非常停止スイッチ
・機能の確認を行なう。
原点復帰
・原点取り動作が正常であるか確認する。
ジョグ動作
・X、Y、Z、θ、S 軸を移動させる。座標表示と動作時に異音
がないことを確認する。
吸着動作
・吸着力の確認を行なう。
コンベア
・基板を流して動作を確認する。
ストッパ
・動作確認を行なう。
クランプ
・動作確認を行なう。
ANC
・動作確認を行なう。
ヘッド
・動作確認を行なう。
DI/DO チェック
・動作確認を行なう。
エアー圧力
・ヘッド詰り/ノズル詰り/ソレノイドバルブの確認を行なう。
)
3.機械部 ヘッド詰り/ノズル詰りと、ソレノイドバルブ故
障の確認
X－Y テーブル
・X、Y 軸を移動させてボールネジ、リニアボールガイドからの
異音がないことを確認する。
・グリス切れをしていないか確認する。