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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 ● 当标记识别不稳定时 ,请按下照明条件设 定按钮, 设置照明条件 。 请在指定测定框 的左上方前,先设置 照明条件。 图 4-5-2-11-2 设置 照明条件(面板) 图 4-5-2-11-3 设置 照明条件( HOD ) 按下设置照明条 件按钮,显示如下画 面。请设置照明类型 。 图 4-5-2-11-4 设置 照明类型 ·按 < 应用 > 按钮 可确认所设定的光量 下的图像…

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1 基本篇 4 制作生产程序
请设定检出框。
按上下左右箭头(使用 FAST 键可加速检出框的移动速度)
,调整上、左、下、右(按顺序
输入),设置检出框。
此时,将自动识别标记,并获的校正所需数据。
自动获得标记周围的干扰隔离级别,并显示在监视器上。
使用HOD的↑键、(XY移动上下箭头键)进行调整,使标记清晰可见且周围的干扰非常小。
调整结束后请按ENTER键。
显示摄象机图像和长方形的框。
首先设定上面及左面的刻度框。
请调整至与标记的上面及左面一致。
调整后按 ENTER 键。
同样的,设定下面及右面的刻度框。
调整后按 ENTER 键。
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1 基本篇 4 制作生产程序
当标记识别不稳定时,请按下照明条件设定按钮,
设置照明条件
请在指定测定框的左上方前,先设置照明条件。
4-5-2-11-2 设置照明条件(面板)
4-5-2-11-3 设置照明条件(HOD
按下设置照明条件按钮,显示如下画面。请设置照明类型
4-5-2-11-4 设置照明类型
·按<应用>按钮可确认所设定的光量下的图像。
照明类型 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片 在标记上有阻剂或保护胶片,标准照明时标记反射不佳,
识别不稳定时使用。
用户定义
上述 2 种情况下标记的反射均不佳,识别不稳定时,直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明类型,一般设置 50200 之间。设置在 50 以下时,有时光亮不稳定。
在标记信息相同而需要仅对检出框进行重新示教时,按 HOD NEXT 即可
略过③的操作。
但在这种情况下,重新识别标记时,NEXT 键无效。
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1 基本篇 4 制作生产程序
请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时,请用HOD键、(XY移动上下箭头键)
选择正确的标记
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[ ]PR
请进行检出框的示教
完成④的操作后画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。要改变检出框时,
请执行④的步骤
在此,如果按下 HOD PREVIOUS 键,可返回检出框的示(③的操作)
按与刻度框同样的方式来设定检测框。设定的方
法与刻度框相同。
完成调整后,按 ENTER 键。
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