JX-100_使用说明书.pdf - 第510页
第 2 部 功能详细编 第 7 章 手动控制 7-4-2-2 自动控制传送 从菜单栏中选择“控制（ C ）” / “传送 （ C ）” / “自动控制传送 ( A) ”，则显示如下 的自动控制 传送画面。 图 7-4-2-2-1 自动控 制传送 (1) 控制项目 用按钮来选择控 制项目。 图 7-4-2-2-2 控制项 目 (2) 定位方式 定位方式仅限于 外形基准。 图 7-4-2-2-3 定位方 式 7- 20
第 2 部 功能详细编 第 7 章 手动控制
7-4-2 传送
7-4-2-1 个别控制传送
从菜单栏中选择“控制”/“传送”/“个别控制传送(I)”，则显示如下的个别控制传送画面。
图 7-4-2-1-1 传送类个别控制
(1) 控制项目
按下按钮，选择控制项目。
图 7-4-2-1-2 控制项目
(2) 控制按钮
按动控制按钮，执行控制项目。
控制按钮的显示因控制项目而异。
选择要控制的项目，选择“打开（O）”按钮、“关闭(F)”按钮、“打开/关闭(/)
”按钮或按下
“F3”键、“F4”键、“F5”键进行控制。
(3) 状态显示
控制结束时显示各传感器、各单元的状态。
连续显示各传感器、各信号、各单元的状态。
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第 2 部 功能详细编 第 7 章 手动控制
7-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择“控制（C）”/“传送（C）”/“自动控制传送(A)”，则显示如下的自动控制
传送画面。
图 7-4-2-2-1 自动控制传送
(1) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
图 7-4-2-2-2 控制项目
(2) 定位方式
定位方式仅限于外形基准。
图 7-4-2-2-3 定位方式
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第 2 部 功能详细编 第 7 章 手动控制
(3) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目后，按“执行(Ｅ)”按钮或按下“F3”键进行控制。
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板传送
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬出
将基板搬出。
4) 解除基板固定
释放基板。
5) 基板重新固定
按定位方式指定的方式，重新加紧送通道上的基板。
6) HMS 夹紧(仅限 JX-100 LED)
根据指定的定位方式，由HMS对基板进行检出、夹紧。
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。
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