NPM-GH_z_中文规格书.pdf - 第160页
NPM- GH 20 23 .0 710 - 154 - ( 单位 : mm) ■ 单式托 盘供料 器连接时 （前侧的供给部未插入台车时） Remarks • 上述示图的缩小比例与 实际机器在严 格上讲，并不完全 一致。 在研讨生产线构成和尺 寸时，请另行 索取资料。 • 本机下部如有设置通风 道等时，请确 保与主体间空隙 保持 40 mm 以上。 基板传送高度 基板传送基准 （前轨） 基板传送基准 （后轨） ( 传送带长 …
NPM-GH 2023.0710
- 153 -
13.
尺寸图
(单位: mm)
■ 交换台车(ITF站)连接时
Remarks
• 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
• 本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
(传送带长)
(罩外形)
基板传送基准
（前轨）
基板传送基准
（后轨）
基板传送高度
NPM-GH 2023.0710
- 154 -
(
单位
: mm)
■
单式托盘供料器连接时
（前侧的供给部未插入台车时）
Remarks
• 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
• 本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
基板传送高度
基板传送基准
（前轨）
基板传送基准
（后轨）
(传送带长)
(罩外形)
NPM-GH 2023.0710
- 155 -
(
单位
: mm)
■
调整螺栓的配置图
电源
基板传送基准
（前轨）
基板传送基准
（后轨）
空气