YSP20_Users_K.pdf - 第214页

7-10 7 1. 5 트 레이스 트 레 이 스 기 능 이 란 , 카 메 라 등 의 티 칭 유 니 트 를 목적 위 치 에 자 동 적 으로 이 동 하는 기 능 입 니 다 . 주 로 입 력 된 XY 좌 표 를 확 인 하 거 나 솔 더 의 인 쇄 상 태 나 마 스크 홀 의 검 사를 할 때 사용 합 니 다 . 1 [ 티칭 ] 버튼 을 누 르 고 「티 칭 ( 트 레이스 ) 」화 면을 표 시합니다 . 「…

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[ 티칭 ] 버튼
티칭을 행합니다 .
[ 살표 ] 버튼
[ 측상단 ] [ 우측하단 ] [ 전체 ] 튼에 움직으로 우의 사이위치변경
니다 .
[1 Pixel/10 Pixel] 버튼
동량을 전환합니 .
[좌상이동][우하이동] [전체이동]
정지점
윈도우 전체가 이동한다
패턴
패턴 전체를
윈도우로 둘러싼다
윈도우의 사이즈 조정과 이동
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참고
마우스 포를 비젼 화의 티칭 윈에 두면 포의 형이 바뀌고 마우를 드서 윈의 사이나 위
를 간게 변할 수 있.
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[ 티칭 ] 버튼니다 .
우의 중표가 .
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1.5 레이스
, 목적으로 하는 .
XY 스크 사를 사용.
1
[ 티칭 ] 버튼「티 ( 레이스 )」화면을 시합니다 .
「티」화면같은 화면표시 .
참고
판상의 좌를 트할 경우 기판이 고어 있지 않을 때는 확인 대화창이 표므로 , 그 지에 따라 기판을 컨
상에 반해 주십 . 또한 마스크의 좌를 트스 할 경우는 마스크를 인에 클프 해 주십 .
「티칭 (트레이스)」화면
[트레이스] 버튼
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참고
모드나 속도 설은 무므로 어떤 수도 상. (트스의 이동속는 고어 있으므로 , 변할 수 없
습니다 .
2
트레이스할 데이터를 선택합니다 .
「티 ( 트레 )」화상단 행에 커서맞추 .
3
전을 확인합니다 .
트레이스하면 티칭유니트가 합니 . 가동 범위내에 등이 음을 주십
오.
4
[ 트레이스 ] 버튼누릅니다 .
트레이스가 실행트레위치표시 . 요에 따라 아래의 튼을 구분하여
주십시 .
[ 레이스 ] 버튼
트레합니 .
[ 이전을 트레이스 ] 버튼
이전 이터 트레합니 .
[ 트레이스 ] 버튼
좌표트레합니다 .
[ 트레이스 ] 버튼
자동으로 트레합니 .
참고
「육안 기」탭「육안 마스크검」탭의 [ ] 을 누르고 열「티칭 ( )」화서 검사좌가 입
된 경우는 [을 트 ] [다음을 트 ] [ 자동 트 ] 튼을 사면 쉽게 육안사를 할 수 있.
( 5 「3.2 기판 데의 상「4.2 마스크 데의 상」을 참 .)
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2. 패턴매
, 기판이마스크상의 특정 턴의 화상릿으로서 등록그 형상실제인식
과에서 판이마스크의 정기구에서 발생하는 차나 보정 .
마스크듀셜 마크가 우라도 YAMAHA 하는 마크당되않아듀셜 기능을
사용할 우에 효합니 .
등록을 하는 한은 맞는 택하십시 . 또한 상은 화면의
1/4 도로 .
명확할 것 .
(패턴의 윤곽이 뚜렷하면 .
2 ( 동일)이 각선상에 있어 .
NG
OKOK
OK OK
명암 대비가 낮다
기판 또는 마스크 기판 또는 마스크
패턴
패턴
패턴조건
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n
요점
의 인 , 일인 마크에 비하여 시이 걸 . 또 , 원과 사각 등의 마크에 비하여 정도가 약
. 인「인」을「일」으로 설서 인할 수 있는 마에 대는 사용할 필요가 없.