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7-1 1 7 2. 패턴매 칭 패 턴 매 칭 이 란 , 기판이 나 마스크 상의 특정 패 턴의 화상 을 템 플 릿 으로서 등록 하 고 그 형상 과 실제 로 인식 된 패 턴 을 비 교 한 결 과에서 기 판이 나 마스크의 고 정기 구에서 발생 하는 오 차나 틀 어 짐 을 보정 하 는 기 능 입 니 다 . 기 판 이 나 마스크 상 에 피 듀셜 마크가 없 거 나 있 는 경 우라도 Y AM AH A 가…

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1.5 레이스
, 목적으로 하는 .
XY 스크 사를 사용.
1
[ 티칭 ] 버튼「티 ( 레이스 )」화면을 시합니다 .
「티」화면같은 화면표시 .
참고
판상의 좌를 트할 경우 기판이 고어 있지 않을 때는 확인 대화창이 표므로 , 그 지에 따라 기판을 컨
상에 반해 주십 . 또한 마스크의 좌를 트스 할 경우는 마스크를 인에 클프 해 주십 .
「티칭 (트레이스)」화면
[트레이스] 버튼
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참고
모드나 속도 설은 무므로 어떤 수도 상. (트스의 이동속는 고어 있으므로 , 변할 수 없
습니다 .
2
트레이스할 데이터를 선택합니다 .
「티 ( 트레 )」화상단 행에 커서맞추 .
3
전을 확인합니다 .
트레이스하면 티칭유니트가 합니 . 가동 범위내에 등이 음을 주십
오.
4
[ 트레이스 ] 버튼누릅니다 .
트레이스가 실행트레위치표시 . 요에 따라 아래의 튼을 구분하여
주십시 .
[ 레이스 ] 버튼
트레합니 .
[ 이전을 트레이스 ] 버튼
이전 이터 트레합니 .
[ 트레이스 ] 버튼
좌표트레합니다 .
[ 트레이스 ] 버튼
자동으로 트레합니 .
참고
「육안 기」탭「육안 마스크검」탭의 [ ] 을 누르고 열「티칭 ( )」화서 검사좌가 입
된 경우는 [을 트 ] [다음을 트 ] [ 자동 트 ] 튼을 사면 쉽게 육안사를 할 수 있.
( 5 「3.2 기판 데의 상「4.2 마스크 데의 상」을 참 .)
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2. 패턴매
, 기판이마스크상의 특정 턴의 화상릿으로서 등록그 형상실제인식
과에서 판이마스크의 정기구에서 발생하는 차나 보정 .
마스크듀셜 마크가 우라도 YAMAHA 하는 마크당되않아듀셜 기능을
사용할 우에 효합니 .
등록을 하는 한은 맞는 택하십시 . 또한 상은 화면의
1/4 도로 .
명확할 것 .
(패턴의 윤곽이 뚜렷하면 .
2 ( 동일)이 각선상에 있어 .
NG
OKOK
OK OK
명암 대비가 낮다
기판 또는 마스크 기판 또는 마스크
패턴
패턴
패턴조건
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n
요점
의 인 , 일인 마크에 비하여 시이 걸 . 또 , 원과 사각 등의 마크에 비하여 정도가 약
. 인「인」을「일」으로 설서 인할 수 있는 마에 대는 사용할 필요가 없.
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2.1 턴등
하는 하는 .
1
패턴매패턴을 결정합니다 .
주십시 .
2
마크정보 면에 패턴명칭을 입력니다 .
마크 화등록행의 「명패턴구분력하여 주십시 .
패턴명칭의 입력
패턴의 명칭을 입력한다
[레인전환] 버튼
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3
「마크타입」을 설정합니다 .
「기」탭 화면의「마크타입」에듀셜 마크작성때는 「기듀셜」로 , 마스크
마크작성「마스크 듀셜」로 합니 .
「마크타입」의 설정
마크타입을 설정한다
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