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제 2 장 기 본적 인 조작 이 장 에 서는 , 장비의 기동 • 종 료 방법을 비 롯 하 여 비상정 지 나 에 러 의 해제 방법 , 조작화면의 구 성 등 기 본적 인 조작에 대해 설 명 합니 다 . 실제 로 장비를 조작하 면서 본 장의 설 명 을 읽어 주 십 시 오 . 목차 1 . 비상정지의 해제와 에러클리어 2 - 1 1 . 1 비상 정지의 해 제방법 2- 1 1 . 2 에러의 클 리어방법…

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1-21
1
이블
축 구성
스퀴지
스퀴지 헤드
마스크
마스크
SRA축
SYA축
SZA축
플러스 방향
마이너스 방향
MYA2축
MYA1축
MZA축
스퀴지
스퀴지 헤드
SRB축
SYB축
SZB축
MYB2축
MYB1축
MZB축
■ 테이블 A
■ 테이블 B
RL(우→좌 흐름)의 장비 정면에서 본 예
67119 - N3 - 00
유니트명 기능
스퀴헤드
SY 스퀴지 헤드Y 축과 평행으로 동시니다 .
SZ 스퀴헤드상하로 동시킵니 .
SR 스퀴헤드회전시킵 .(3S 드만 )
인쇄 테이
MY1 마스Y 방향으로 동시니다 .
MY2 마스크를 R 방향으로 동시니다 .
MZ 마스크를 Z 방향으로 이동시킵 .
2 본적인 조작
서는 , 장비의 기동
방법을 비상정해제방법 , 조작화면의 구
본적조작에 대해 합니 . 실제장비를 조작하면서 장의 읽어 주 .
목차
1. 비상정지의 해제와 에러클리어 2-1
1.1 비상정지의 제방법 2-1
1.2 에러의 리어방법 2-2
1.3 대표적인 러와 대처방법 2-3
2. 장비의 기동종료 2-9
2.1 시작전 검을 2-10
2.2 장비를 기동한다 2-11
2.3 장비의 전원을 OFF 2-13
3. 조작화면의 2-15
3.1 조작화면의 기본구 2-15
3.2 각종버튼과 입력박스 2-16
2-1
2
1. 정지제와 에러클리
상정해제러클방법을 설합니 .
1.1 비상정지해제방법
프가
「비」라으로 . .
1
비상정지 버튼을 원상태로 합니다 .
상정튼이 눌려 , 른쪽으로 돌려서 합니 .
오퍼레이션 널과 우측상단비상정튼이 습니 .
참고
치 등에 의한 인으로 비된 경우는 , 그 원을 제해 주십 .
2
전을 확인합니다 .
상정해제후의 운전에 비해 , 안전확인주시바랍니 .
3
퍼레이션 패널의「READY」버튼니다 .
「READY」버튼 , ON 상태 .
「READY」버튼
「READY」버튼
67200-N3-00
4
시를 확인합니다 .
표시적색램프가 꺼지조작화면좌측상단 ( 스테이터 ) 「비상정지」표꺼진것을
인하시기 니다 .
c
주의
비상정지 버튼은 , 비상에 장비의 가동을 즉시 정시킬때 사용합니 . 평상시에는 사용하지 말아 주십시 .