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iii 점검 청소 ・ 급유 교환 섹션 대상 매주 매월 3M 6M 고장 시 청소 급유 주기 대응 X ,Y X축 볼 스 크류 ● ○ ○ - △ 가 이드 ● ○ ○ - △ Y축 볼 스 크류 ● ○ ○ - △ 가 이드 ● ○ ○ - △ 마스크카 메 라 조명 렌 즈더러 움 조명점등상 태 ● ● - - △ 기판카메 라 조명점등상 태 ● ● - - △ 검사카메 라 (OP) 조명점등상 태 …
ii
2.유지보수항목일람
■ 점검항목 일람
실시내용은 ,다음과같이약호로나타냅니다 .
●：실시 ○：점검결과 ,필요성이인정된경우
Y
：
Year M
：
Month H
：
Hour
◆：교환후의확인또는조정필요 △：폐사또는대리점에연락 -：없음
점검 청소
・
급유 교환
섹션 대상 매주 매월 3M 6M 고장시 청소 급유 주기 대응
SY 축 가이드 ● ○ ○ - △
SZ 축
볼스크류 ● ○ ○ - △
가이드 ● ○ ○ - △
리니어부쉬 ● ○ ○ - △
스퀴지유니트 스크래퍼부
일상
점검
○ - - ○
클리너본체 동작 ● ○ - - △
클리너헤드 상태
•
동작 ● ○ - - △
흡인블로워호스
상태 ● ○ - - ○
가이드 ● ○ ○ - ○
흡인블로워유니트
내부필터
상태
•
동작 ● ● - - ○
메인스톱퍼 상태
•
동작 ● ○ ○ - △
엣지클램프 상태
•
동작 ● ○ ○ - △
출구스톱퍼 동작 ● ○ ○ - △
컨베이어벨트 상태
•
동작 ● ● - - ○
푸쉬업플레이트 상태
•
동작 ● ● - - ○
PU 축
볼스크류 ● ○ ○ - △
가이드 ● ○ ○ - △
가이드샤프트 ● ○ ○ - △
Ｗ축타이밍벨트 상태 ● - - - △
Ｗ축컨베이어
자동폭
볼스크류 ● ○ ○ - △
가이드 ● ○ ○ - △
마스크흡착
동작 ● - - - △
진공필터 ● ○ - - ○
ASSY
MY 축
볼스크류 ● ○ ○ - △
가이드 ● ○ ○ - △
MZ 축 볼스크류 ● ○ ○ - △
iii
점검 청소
・
급유 교환
섹션 대상 매주 매월 3M 6M 고장시 청소 급유 주기 대응
X,Y
X축
볼스크류 ● ○ ○ - △
가이드 ● ○ ○ - △
Y축
볼스크류 ● ○ ○ - △
가이드 ● ○ ○ - △
마스크카메라
조명렌즈더러움
조명점등상태
● ● - - △
기판카메라 조명점등상태 ● ● - - △
검사카메라 (OP) 조명점등상태 ● ● - - △
에 어／미스 트
필터
필터 ● ● - - ○
