DECAN_S1_Administrator∏s_Guide(Chi_Ver1.4)_Web.pdf - 第438页
14-70 Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide 4. 正常结束对所有 磁头的校正， 则显示如下结果值。 如下图显示结果值。 点击 <Update> 按钮。 结果值在 System Setup 菜单的 Camera 对话框中可以确认。
14-69
Machine Calibration
14.3.8.8. Fly Camera Offset Calibration
校正飞行相机和Head Spindle中心间的差距。执行Fly Camera Offset Calibration之
前，需先确认ANC 1号孔中是否已安装CNT20喷嘴。
使用Head的Reference Fiducial Mark时，同时执行Reference Fiducial Offset 校正。
是否使用Head的 Reference Fiducial Mark，在 System Setup菜单的 Camera对话框中进
行设置。Default值为’Use’。
下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。
1. 未安装CNT20喷嘴时，点击<Nozzle Prepare>按钮后，请在ANC 1号孔中手动插
入CNT20喷嘴。
2. 选择<Automatic Next(自动下一步)> 校验框后，点击<14. Fly Camera Offset> 按
钮，则对选择的Gantry自动执行校正。
3. 校正首先识别Head的Reference Fiducial Mark测量飞行相机的R Offset。之后用
飞行相机识别校正 Tool底面的 Fiducial Mark 2点测量飞行相机的 Scale值。
14-70
Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
4. 正常结束对所有磁头的校正，则显示如下结果值。如下图显示结果值。点击
<Update>按钮。
结果值在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。
14-71
Machine Calibration
备 注 Fly Camera Offset的校正基准值如下。(FOV 23mm(2MEGA))
Head - Fly Offset [单位: X(mm) , Y (mm) , R (°) ]
Offset X: -0.60 ~ 0.60
Offset Y: -0.60 ~ 0.60
Offset R: -1.0 ~ 1.0
Head Reference Fiducial Offset (mm)
Offset X: -0.50 ~ 0.50
Offset Y: -0.50 ~ 0.50