KE-1070_80_Operation_Manual2_Rev01_C2.pdf - 第353页

操作手册Ⅱ 5-20 1)统一更换台车要定期清扫。 此外, 在安装带式送料器等送料器类前, 若发现有芯片等异物时, 也 要用吸尘器等进行清扫。 2)请确认「台架定位销③」 (两侧)附近没有芯片等异物。 1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。 有灰尘或异物时,请用气枪去除。 清扫部位 5-3-10 统一更换台车(选购项) 实施频度:每周 清扫内容 清扫供料器台架的灰尘、异物 使用工具: 吸尘器 清扫部位 5-3-11 OCC…

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操作手册Ⅱ
5-19
1) 「滑动托盘①」上若有芯片或垃圾,会成为吸嘴装卸不畅的原因。
请用抹布沾上酒精进行清扫。
1) 请定期进行送料器台架的清扫。
此外,在安装带式送料器类之前,若发现有芯片等异物,也请用吸尘器进行清扫。
清扫部位
5-3-8 ATC单元
实施频度: 每周
清扫内容 清扫 ATC 的灰尘、异物 使用工具:抹布 推荐溶剂: IPA
清扫部位
5-3-9 送料器台架
实施频度:每周
清扫内容 清扫送料器台架的灰尘、异物 使用工具: 吸尘器
󲳖󰉮󰒋
操作手册Ⅱ
5-20
1)统一更换台车要定期清扫。此外,在安装带式送料器等送料器类前,若发现有芯片等异物时,
要用吸尘器等进行清扫。
2)请确认「台架定位销③」(两侧)附近没有芯片等异物。
1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。
有灰尘或异物时,请用气枪去除。
清扫部位
5-3-10 统一更换台车(选购项)
实施频度:每周
清扫内容 清扫供料器台架的灰尘、异物 使用工具: 吸尘器
清扫部位
5-3-11 OCC(偏光滤光片)
实施频度: 每周
清扫内容 清扫 OCC(偏光滤光片)的灰尘、异物 使用工具: 气枪
󰮹󰼜
󰒋󳇕
操作手册Ⅱ
5-21
(1) 拆下󳖣󳝁达的󲲜󰮹器。
把黑色󰓦脂部分向身前方向拉,即可拆下。
󳖣󳝁 
(2) 用吸器吸󲲜󰮹器的灰
󳖣󲲜󰮹
(3) 󲲜󰮹器装回去。󲡹󳖣扇运󲱁是否正常。
因风扇高速旋转,在接通电源的状态下进行作业有危险。
要进行作业时,请务必切断电源。
清扫部位
5-3-12 󳖣󳝁
实施频度:每月
清扫内容 清扫过滤器的灰尘、异物 使用工具:吸尘器
无法去除󱷤󰤶󰋋󲣌󰀷󲲜󰮹器。
名称:󳖣󲲜󰮹
商品号:HM001010020 (内有 5
向箭方向拉
注意