FX-3R_OperationManual1_Rev00_C.pdf.pdf - 第42页
操作手册 I 2-29 ＜步骤 2 ＞ 检查激光弄脏 ① 请按下按钮「检查激光弄脏」 。 ② 显示「检查激光弄脏」画面。 ③ 清扫后，请按下按钮 ，确认没有「弄脏」 。 请按下按钮 发现“弄脏”时，请按 照『操 作手册 II 』的「第 5 章日常检 查」的说明，清扫激光单元。 通常情况下请勾选 「检查全部 Head 」 。 确认后，按下按钮「 OK 」 。
操作手册 I
2-28
检查生产程序内容，确认与机器的状态（吸嘴配置、检查单元等）有无矛盾。
此外，生产前还要检查激光单元有无弄脏。
＜步骤 1＞ 生产程序检查
① 请按下按钮「生产程序检查」。
② 显示检查「生产程序检查」画面。
③ 请解决错误项目。
支援准备 8 生产前检查
■有错误画面
■无错误画面
发现异常时显示
「错误」
确认错误的内容。
按下按钮「检查」后，开始检查
生产程序。
确认后，按「确定」。
操作手册 I
2-29
＜步骤 2＞ 检查激光弄脏
① 请按下按钮「检查激光弄脏」。
② 显示「检查激光弄脏」画面。
③ 清扫后，请按下按钮 ，确认没有「弄脏」。
请按下按钮
发现“弄脏”时，请按照『操
作手册 II』的「第 5 章日常检
查」的说明，清扫激光单元。
通常情况下请勾选「检查全部
Head」。
确认后，按下按钮「OK」。
操作手册 I
2-30
在“基板生产”画面上设置“生产计划数量”，按下[开始开关]后，即开始生产。
① 请点击「支援准备」的 按钮。
② 输入生产计划数量。
注意
按下[开始开关]后，装置即开始移动。
为避免伤害人身，请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。
Step6
执行生产
输入「生产计划数量」。
点击「确定」按钮。
执行「支援准备」的各项作业
后,显示勾号。
※关于生产画面的详细说明请参见『操作手册Ⅱ』的“
3-2-2
生产条件画面”