CMN5154210_YSM40_Mainte_C保养手册.pdf - 第133页
4-8 4 4. 真空泵的维修保养 本章节，介绍真空泵的维修保养方法 ( 主要是易耗零部件的更换 )。 ■ 更换、清洁真空泵的易耗零部件时的注意事项 c 注意 运行结束之后，真空泵的内部还处于高温状态。请务必等待 30 分钟左右，确认真空泵已完全冷却之后，再进行更换或清洁。 c 注意 更换易耗部件时，务必佩带防尘口罩和防护手套。否则，会有吸入细微磨损粉或使手受伤的危险。 c 注意 真空泵重达 20Kg 以上，操作时，请注意安全，以…
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4
3.2.3 吸附台 ( 载盘夹部 )
下面，介绍载盘夹部的清洁与加油的方法。
1
拆卸盖板。
用六角扳手拆下如右图所示的盖板。
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2
清洁导轨。
用无尘纸擦去导轨的脏污润滑油与尘屑。
3
涂抹润滑油。
用手指给导轨涂抹润滑油。
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4
将盖板装回原位。
将 Step1 中拆下的盖板装回原位。
3.2.4 吸附台 ( 上下导板部 )
下面，介绍上下导板部的清洁与加油方法。
1
拆卸盖板。
用十字螺丝刀拆下如右图所示的盖板。
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2
清洁导轨。
用无尘纸擦去导轨的脏污润滑油与尘屑。
3
涂抹润滑油。
用手指给导轨涂抹润滑油。
55413-N5-00
4
将盖板装回原位。
将 Step1 中拆下的盖板装回原位。
拆卸盖板
Step 1
盖板
涂抹润滑油
Step 3
导轨
拆卸盖板
Step 1
盖板
涂抹润滑油
Step 3
导轨
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4
4.真空泵的维修保养
本章节，介绍真空泵的维修保养方法 ( 主要是易耗零部件的更换 )。
■ 更换、清洁真空泵的易耗零部件时的注意事项
c
注意
运行结束之后，真空泵的内部还处于高温状态。请务必等待 30 分钟左右，确认真空泵已完全冷却之后，再进行更换或清洁。
c
注意
更换易耗部件时，务必佩带防尘口罩和防护手套。否则，会有吸入细微磨损粉或使手受伤的危险。
c
注意
真空泵重达 20Kg 以上，操作时，请注意安全，以免不慎滑落压伤脚，或损伤腰部。
■ 需使用的工具
1.六角扳手 5mm、3mm
2.扭矩扳手 六角套筒的对边为 5mm( 拧紧扭矩可设置为 8N/m 的扭矩扳手 )
3.十字螺丝刀 No.2
4.扭矩螺丝刀 No.2( 拧紧扭矩可设置为 0.55、1.4、3N/m 的扭矩螺丝刀 )
5.擦拭用溶剂 使用对橡胶部件无影响的乙醇
6.无尘纸 可擦除脏污的无尘纸等
7.防尘口罩、防护手套
8.油性记号笔
■ 易耗零部件列表 (PUMP SPARE KIT ：KLF-M86P0-00X)
零部件名 数量 更换频率 备注
碗形塞 8 8000 小时
密封垫圈 8 8000 小时
FLAP 24 8000 小时 吸气阀与排气阀
SHEET1 FLAP 8 8000 小时 吸气阀加固片
SHEET2 FLAP 8 8000 小时 排气阀加固片
O-Ring 16 8000 小时 连接管部
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4.1 真空泵的拆卸与操作前的准备
进行操作之前，请再次确认安全。
请参照前项“更换、清洁真空泵的易耗零部件时的注意事项”，确认是否安全。
1
拆卸切带机部的排带通道。
参照前述第 1 章“2.1 切带机部排带通道的拆卸”，
拆卸切带机部的排带通道。
2
拆卸贴片机的盖板。
1. 用十字螺丝刀拧松如右图所示的 6 颗固定螺钉
并拆下盖板。
2. 拆下盖板里侧的地线。
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3
拆卸真空泵的外盖。
用较短的十字螺丝刀或棘轮扳手拆卸 6 颗固定螺
钉。
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4
拆卸输气管。
4 梁机型时，拆卸左右各 4 根输气管 ；2 梁机型时，
只拆卸面向真空泵时右侧的 4 根输气管。
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5
拆卸上侧的真空泵。
1. 从侧面的外壳内拆下电源插头与地线。
c
注意
拆卸地线时，注意不要丢失菊花垫片。
2. 用六角扳手 (4) 拆卸固定上侧真空泵的 4 根螺
栓。
3. 将真空泵向自己一侧拔出。
c
注意
拆卸时，注意不要使真空泵滑落。
6
拆卸下侧的真空泵。
1. 用六角扳手 (4) 拆卸固定下侧真空泵的 2 根螺
栓(前侧)。
2. 拆下真空泵后，从侧面的外壳中拆下电源插头
与地线。
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拆卸贴片机的盖板
Step 2
固定螺钉
拆卸输气管与电源插头
Step 4, 5
输气管
电源插头
拆卸真空泵的外盖
Step 3
固定螺钉
真空泵外盖
拆卸真空泵
Step 5, 6
固定螺栓
(4处)