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M400 内部機構イメージ ピックアップエリア ボンディングエリア
パルスヒータ仕様
下向きカメラ
(キバン側認識)
接着剤ディスペンサ
※オプション
ピックアップヘッド
上向きカメラ
(チップ裏面認識)
ステージθ軸
(マニュアル調整)
ボンディングステージ
常温仕様
ヘッド側θ軸
(マニュアル調整)
ピックアップステージ
(トレイをセット)
M90 内部機構イメージ
M400 内部機構イメージ
ピックアップエリア ボンディングエリア
ピックアップカメラ(チップ位置認識) ※固定
突き上げジグ
ピックアップステージ ※X-Y軸稼働
ピックアップエリア
M400 内部機構イメージ