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ピックアップカメラ ( チップ位置認識 ) ※固定 突き上げジグ ピックアップステージ ※X -Y 軸稼働 ピックアップエリア M400 内部機構イメージ
M400 内部機構イメージ
ピックアップエリア ボンディングエリア
ピックアップカメラ(チップ位置認識) ※固定
突き上げジグ
ピックアップステージ ※X-Y軸稼働
ピックアップエリア
M400 内部機構イメージ
ピックアップステージ設置可能
※トレイ設置個数は要相談
ボンディングエリア
下向きカメラ(基板認識) ※固定
N2雰囲気対応ボンディングステージ
※X-Y軸稼働
ピックアップコレット ※X-Z軸稼働
上向きカメラ(チップ裏面認識) ※固定
M400 内部機構イメージ